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中国微米纳米技术第七届学术年会

召开年：2005
召开地：大连
出版时间：

主办单位：中国机械工程学会

会议文集：中国机械工程

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1.GMR生物传感器研究进展
- 任天令;曲炳郡;刘理天;李志坚
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：巨磁电阻(GMR)生物传感器以其IC兼容性、高灵敏度、标记稳定、价格低廉等优点,获得广泛关注.在GMR生物传感器研究领域,美国处于领先地位.本文对该领域的研究现状进行综述,并对该技术的前景进行展望.
2.硅微机械扭转微镜的研究进展
- 栗大超;北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室;吴文刚;闫桂珍;傅星;郝一龙;胡小唐
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：硅微机械扭转微镜在国防和民用领域都有着重要的应用.本文根据致动机理的不同,从压电驱动方式、电磁驱动方式、电热驱动方式和静电驱动方式等方面系统地阐述了硅微机械扭转微镜的研究现状与发展方向,同时重点讨论了硅微机械扭转微镜在医疗成像和生物技术等领域中的具体应用.
3.喷墨打印技术展望以及在中国开展研发制造之探讨
- 赵钧
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文分析论述了喷墨打印的各种技术,包括打印头和打印系统.着重对应用最为广泛的热喷墨打印技术给予较详细分析,包括打印头芯片的设计制造以及打印系统技术.分析了中国喷墨打印市场现状和技术趋势.探讨了中国开展研发制造喷墨打印机的机遇、问题和策略.
4.微电铸的析氢现象研究
- 肖日松;杜立群;刘海军;褚德南;刘冲
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文讨论了微电铸工艺中的析氢现象.析氢是微电铸中的附加反应,如处理不当,将会使铸层产生缺陷,如针孔和麻点等,同时引发氢脆,从而降低铸层的机械性能.通过对微电铸原理及析氢机理的分析,提出稳定pH值、增加搅拌和过滤循环、添加润湿剂以及采用脉冲电流等四种有效措施.实验证明,以上措施解决了析氢现象对铸层质量的影响,并获得了满意的铸层.
- 微电铸;
- LIGA;
- 析氢;
5.微纳米级硅显微操纵传感集成器械研究在生物医学领域的新进展
- 张晓晶
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：在生物学和遗传学的研究中,用作对单个细胞和胚胎进行操作的微型器械变得越来越重要.特别是,能够用这样的装置把遗传物质准确地、定域地注射到被精确定位的生物学模式生物(果蝇)中,将有助于在发育生物学和发育遗传学上进行各种各样的研究.为了在生物体内进行这些研究,必须把注射力和定位力标注出来,并且将其最小化. 本文回顾了目前利用微机电(MEMS)技术在高效并行显微注射和胚胎定位方面的工作;研制了硅微光学力传感器,并用来研究和优化显微注射器自组装定位芯片的几何结构和操作程序.
6.彩色显微图像立体匹配研究
- 王跃宗;刘冲;李德胜
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文研究了计算机显微立体视觉中的高精度立体匹配问题.建立了一种适合于彩色图像的立体匹配算法,使用多个匹配区域和多种相似性测度生成输出样本,通过两次均方差的统计剔除样本中包含的错匹配和误匹配数据,利用两次样本取平均,实现了高于单像素的匹配精度.实验结果表明,多匹配区域、多相似性测度算法在一定程度上提高了立体匹配的准确性和稳定性,当噪声均方差控制在20以内时,算法的匹配准确率约为80﹪.
7.大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计
- 王银峰;杨学恒;刘安平;陈昌水
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种新型扫描探针显微镜镜体的设计,该镜体的扫描工作平台可以在3个方向以每步10nm的精度移动,它突破了扫描探针显微镜中压电陶瓷对扫描范围的限制,采用非压电陶瓷机械传动装置实现了大范围扫描.该设计采用逐级定位扫描放大技术将纳米测量与纳米加工范围延伸到25mm×25mm,甚至更大,镜体设计已经获得国家实用新型专利(ZL02221502.6).将该镜体应用在STM和AFM上,实现了对样品的大范围扫描检测,并保证了测量的高精度.
8.宽范围高对准精度纳米压印样机的研制
- 范细秋;张鸿海;胡晓峰;贾可;刘胜
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：传统的光学光刻技术由于受光波波长和数值孔径等因素的限制难于制作特征尺度小于100nm的图案.与传统光刻相比,纳米压印光刻的分辨率不受光的衍射和散射等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限,因而被认为是一种获得100nm以下图案较好的下一代方法. 本文介绍了自行研制的具有高定位和对准精度的纳米压印样机.利用该样机压印出的纳米级光栅、微凸点阵列、微透镜阵列等纳米结构和微器件的图形质量均匀性良好.该工艺为实现低成本、大批量复制纳米结构创造了条件,在半导体集成电路、微光学、生物和化学分析等微纳结构和器件的制作中有着广泛的应用前景.
9.MEMS器件圆度误差纳米级测量方法研究
- 孙涛;赵学森;闫永达;董申
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：为了测量毫米以下尺寸MEMS零件的圆度参数,建立了将扫描探针显微镜(SPM)系统的原子力测头作为测量传感器,配合精密回转气浮轴系实现对待测试件进行转位的测试系统;讨论了精密气浮轴系、驱动电机、装夹调心装置等关键部件的设计问题及测量系统的工作原理.应用测试系统测量了直径约为0.2mm的微细电极外表面形貌,对获得的表面数据进行了滤波处理,最后使用最小二乘圆度评定准则计算其圆度误差为3.210μm.这种方法可以为圆形MEMS器件的制造工艺提供可行的测量方法与手段.
10.热致动硅微夹钳实验研究
- 张永宇;沈雪瑾;赵江铭;陈晓阳
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7～4μm之间.
11.微型热敏传感器的薄膜电阻设计研究
- 刘奎;苑伟政;邓进军;马炳和;姜澄宇
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文应用微型热敏传感器薄膜电阻的电阻温度系数设计方法,得到基于热敏电阻的电阻温度系数的计算和设计参数.结合针对流体壁面剪应力测量的应用要求,分析多晶硅和铂金属热敏电阻的优缺点,并且对试验电阻进行电阻温度系数和时间常数的分析计算,依据计算结果确定微型热敏传感器薄膜电阻的基体材料、薄膜材料和特征尺寸等参数,为微型热敏传感器的实际应用提供参考依据和分析方法.
12.静电式MEMS光开关新器件设计开发流程
- 王凯;赵新;何维玮;卢桂章
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.
13.一种热驱动微型电场传感器设计与仿真
- 叶超;中国科学院研究生院;龚超;中国科学院研究生院;陈贤祥;中国科学院研究生院;彭春荣;中国科学院研究生院;陈绍凤;夏善红
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感器的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程.
14.低压化学气相淀积的模型及模拟
- 徐大为;李伟华;周再发
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过对几个淀积工艺模型的讨论,分析了气体在低压下的传输机理及各部分反应对淀积结果的贡献,在此基础上提出了低压化学气象淀积(LPCVD)的二维淀积模型.这个模型在结构上比较简单,计算方便,模型考虑了中间产物的作用,能得到与实际情况较为符合的结构.最后使用C语言编程,采用线算法将模型变为程序,计算过程较为简单,计算速度较快.
15.微尺度间距平行平板间的流动稳定性问题
- 尤学一;郑湘君;李丹
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文在忽略其他微尺度效应的前提下,讨论了粘性修正对微尺度间距平行平板间流动稳定性的影响.考虑到固壁对流体分子的作用力可导致流体表现粘性变化,假定流体表现粘性系数为距壁面距离的函数.结果显示,粘性系数修正在一定条件下可使平均流出现拐点,导致流动失稳,临界雷诺数降低,流动更易失稳.
16.射频微机械可变电容的设计与模拟
- 董乔华;廖小平
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种可用于射频通信系统压控振荡器中的基于MEMS的平行板可变电容.该电容通过采用新的"一上两下"(一个上极板,两个下极板)结构,使电容值的变化范围突破了传统两层平行板可变电容的150﹪的理论限制.上极板上加电压后,在静电力作用下向下移动从而改变电容值.当所加电压值从1V变化到10V时,电容值相应从0.39pF变化到0.96pF(变化范围为246﹪).使用CoventorWare、HFSS软件对电容进行了模拟,给出了C-V曲线、S11参数随频率的变化曲线图.将该电容用于考比兹压控振荡器电路中进行了模拟,给出了输出波形图.
17.PDMS封装技术在硅基微型直接甲醇燃料电池中的应用
- 姜英琪;王晓红;邱新平;钟凌燕;白玉霞;刘理天
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文在分析了PDMS应用优势的基础上,介绍了一种基于PDMS的封装技术,将此技术应用于硅基直接甲醇燃料电池的制作中,并对电池性能进行了测试.实验表明,PDMS封装技术能够有效解决封装的密封性、燃料输运导管固定、电池组件间的接触性等问题,并具有长期可靠性.应用PDMS封装技术的微型直接甲醇燃料电池性能优良,可以驱动一些低功率电子器件和MEMS器件.
18.微流控器件金属镍模具的电铸制作
- 张峰;杨防祖;郝苇苇;周勇亮
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出了一种微流控器件金属镍模具的制作方法.首先应用凸角补偿技术以各向异性湿法腐蚀硅得到呈凹图案的硅基阴模,再在硅基上电铸制作镍阳模.以此阳模为模具经过浇模、键合批量制作PDMS微流控器件.结果表明镍模具的平整度高,其表面算术平均粗糙度为0.725μm.多次复制得到的微流控器件重现性好,一致性高,其沟道的下底宽度、上顶宽度和深度的相对标准偏差(RSD)分别为1.70﹪、2.29﹪和5.31﹪.
19.SiC薄膜制备MEMS结构
- 王煜;郭辉;张海霞;田大宇;张国炳;李志宏
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用PECVD方法制备了无定形SiC薄膜,在此基础上,以SiC为结构层,利用传统的表面硅牺牲层工艺制作了电容式谐振器以及薄膜残余应力的在片检测结构.对SiC的MEMS结构进一步进行了长时间的腐蚀,以获得SiC材料的腐蚀特性.对SiC材料的力学特性进行了研究.深入探讨了退火工艺、薄膜硅碳原子比对SiC薄膜力学特性的影响,同时对薄膜硅碳原子比与制备工艺参数(包括硅烷、甲烷流量)之间的关系进行了实验研究.
20.碳纳米管膜速度传感器及其机理研究
- 申慧娟;大连理工大学;王万录;韦逢艳
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文对多壁碳纳米管膜加速度传感器进行了实验研究.结果发现,室温下,多壁碳纳米管膜的电阻变化率随向心加速度的增加呈线性增长,向心加速度与应变也呈线性变化.对实验结果进行了讨论.
21.PECVD SiC薄膜的应力控制及抗腐蚀特性研究
- 郭辉;王煜;张海霞;田大宇;张国炳;李志宏
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文运用低温的PECVD方法进行了SiC薄膜的制备,通过改究工艺参数对SiC薄膜应力的影响,制备出低应力的SiC薄膜.研究了退火工艺、离子注入工艺对薄膜应力的影响,使得薄膜应力可控制,将无定形态的SiC变成微晶态SiC;解决了厚膜在高温退火下破裂的问题,将SiC薄膜的电阻率降低到10Ω·cm的量级.对SiC的抗腐蚀特性进行了研究,对比了多种湿法、干法对SiC的腐/刻蚀速率.成功地将制备的低应力SiC薄膜用于MEMS器件的抗腐蚀保护.
22.用于快速检测血色素的生物传感器研究
- 姜利英;中国科学院研究生院;李华清;中国科学院研究生院;刘春秀;罗贤波;中国科学院研究生院;吴一戎;蔡新霞
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提供了一种用于快速检测血色素的生物传感器,不仅检测方法简单、耗样少,而且可以极大地缩短血色素的响应时间,在200～3000μmol/L浓度范围内具有很好的线性关系,其响应时间和线性相关系数分别为30s和0.99.适于一次性使用,制作简单,能小批量制备,成本低,具有很好的应用前景.
23.基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计
- 乔东海
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：微波MEMS(RF-MEMS)滤波器是一种基于硅微加工技术的新型器件.由于RF-MEMS器件具有体积小、承受功率大、性能优良、成本低以及易于与后续的电路集成等突出优点,因此,由薄膜体声波谐振器(FBAR)构成的RF-MEMS滤波器在微波通讯系统的射频前端将取代传统的声表面波(SAW)滤波器.从以MEMS技术制作的薄膜体声波谐振器(FBAR)为基本单元构成梯子式(Laddertype)射频滤波器的原理出发,对滤波器的性能和设计进行分析,并对实际滤波器中的问题进行了较详细的探讨.
24.表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
- 姜理利;唐洁影
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,本文阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型.
25.热驱动微型电场传感器
- 陈贤祥;中国科学院研究生院;彭春荣;中国科学院研究生院;白强;陈绍凤;夏善红
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分.其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的周期运动来调制感应电极上在外部电场作用下感应的电荷,形成与外电场成正比的电流信号.用有限元法模拟了热驱动结构的驱动电压与温度、驱动位移和驱动力之间的关系,ANSYS模拟和理论计算结果表明,在±2V的驱动电压下,在实现数微牛驱动力的同时可以实现5.2μm的驱动位移,以1kHz的频率工作时,在10kV/m的外部电场强度下,感应电流超过400pA.
26.一种基于MEMS技术的轻小型爆炸物探测器研究
- 孔德义;梅涛;陶永春;张东风;张涛;路巍;倪林;张正勇
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：提出了一种基于MEMS技术的爆炸物探测器的检测原理及其制作方法,并研制出该探测器样机.对两种常见固态爆炸物梯恩梯(TNT)和黑索金的探测实验表明,它能够检测出微克量级的爆炸物微粒,检测极限约为1μg.该探测器较适用于对大宗可疑物品进行微克至毫克量级采样后的快速检测.
27.集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
- 罗怡;刘冲;刘军山;徐敏
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.
28.基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法
- 吕湘连;苑伟政;何洋;霍鹏飞
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真.以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3﹪,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真.
29.氢氟酸腐蚀牺牲层数值模型及计算机仿真
- 李艳辉;李伟华;周再发
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了在硅微机械加工的牺牲层释放中,氢氟酸(HF)腐蚀磷硅玻璃(PSG)模型的建立过程,详细阐述了Powerlaw模型.根据模型给出了数值求解算法并进行了C语言编程工作,实现了对腐蚀过程的计算机仿真,并对牺牲层腐蚀的二维模型进行了探讨.
30.MEMS微加速度传感器的系统级仿真
- 刘妤;重庆工学院;温志渝;张流强;梁玉前
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
31.化学机械抛光中的纳米级薄膜流动
- 张朝辉;雒建斌;雷红
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文在简述化学机械抛光技术的基础上,提出化学机械抛光过程中,受载的粗糙峰和被抛光的晶片表面之间存在一纳米量级的薄流体膜,形成了纳米级薄膜流动系统.指出对纳米级流动规律进行研究将有助于了解化学机械抛光的作用机理,其中,在极薄的膜厚情况下的温度场分析是一项迫切任务.
32.相关检测与自动增益控制在音叉式石英微陀螺中的应用
- 谢立强;吴学忠;李圣怡
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过研究音叉式石英微陀螺的工作原理,针对如何提升音叉式石英微陀螺的各项性能参数等问题,介绍了基于相关检测和自动增益控制的一种陀螺正弦恒幅驱动和弱信号检测方案,并应用于石英微陀螺角速率传感器中,有效地提高了陀螺仪的各项性能.
33.一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片
- 罗蓉;徐爱东;王玮;吕苗
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种利用MEMS技术制作的微振荡型PCR芯片.与常规PCR产品相比,具有快速、微量和低耗等优点.设计了该芯片的工艺流程并进行了投片,通过实验成功验证了该器件的可行性.
34.用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究
- 方杰;刘泽文;陈忠民;刘理天;李志坚
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作.该低通滤波器(LPF)采用三阶Chebyshev最少电容原型结构,设计参数为:一3dB带宽为3GHz,插入损耗小于2dB.基于MEMS无源元件(电容和电感)的集总物理模型,实现了对LPF实际性能的等效电路仿真,同时进行了版图和结构的验证.利用MEMS工艺实现的低通滤波器,其一3dB带宽和通带内插入损耗分别为2.925GHz和1.2dB(在1GHz下),制作工艺与标准CMOS工艺兼容.
35.闪耀式光栅光调制器及其机电耦合分析与仿真
- 闫许;黄尚廉;张洁;张智海;陈伟民
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理.建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利-里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸、材料性能对吸合电压、固有频率的影响.最后通过Coventorware软件对器件进行机电耦合仿真,通过对比,模型Ⅱ更为合理,分析结果为器件的制造提供了理论依据.
36.一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现
- 李倩;赵瑞华;吕苗;胡小东
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.
37.MEMS集成化设计方法及关键技术
- 尤国平;田凌;郝文涛
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文针对MEMS设计的特点,在研究其设计过程和规律的基础上,提出一种MEMS集成化设计方法,该设计方法从方法论的角度探究了MEMS的最优设计问题.在集成化设计方法的基础上,研究MEMS工艺版图的三维重构和面向系统级仿真的宏模型构建方法,实现了MEMS集成化设计环境,有助于建立支持集成化设计的MEMSCAD软件系统.
38.一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制
- 乔东海;田静;徐联;汪承灏
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文给出了以磷掺杂的多晶硅为振动膜的电容式MEMS传声器的研制过程.从等效电路模型出发,研究了电容式MEMS传声器的振动特性和灵敏度,给出了传声器灵敏度随振动膜张力、膜与背板间的空气隙厚度、背板声孔大小及背板声孔所占面积而变化的解析表达式.结合硼掺杂硅/硅复合背板结构MEMS传声器,提供了参考制作工艺流程.样品测试在1kHz频率处的灵敏度达到-60dB(相对于1V/Pa).
39.用于高功率二极管激光器散热的变截面微通道数值模拟与性能分析
- 何叶;杨涛;李磊民;韩宾
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文对一种屋脊式变截面微通道冷却器中的微通道进行了分析,采用Fluent6.1软件对其中的流体流动和传热进行了数值模拟,并分析了流速、微通道入口大小对冷却性能的影响.
40.用于边界层分离点检测的微型压力传感器阵列研究
- 陈爽;朱名铨;邓进军;马炳和;姜澄宇
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：基于边界层流动与分离的特性,探讨了根据表面压力分布变化,检测物体表面边界层分离点的测量方法.根据边界层分离点测量的特点,给出了一种基于柔性衬底的微型压力传感器阵列的结构设计,并对背引线技术进行了初步研究.设计的微型压力传感器阵列可有效满足边界层分离点的检测要求,进一步拓展了MEMS器件的工程应用范围.
41.电热微夹钳的热效应分析和数值模拟
- 郝秀春;褚金奎;王立鼎;关乐
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种新型多晶硅电热微夹钳,该夹钳在V形电热微驱动器的作用下,能够产生近似线性的位移和产生较大的夹持力.在全面考虑了空气对流、辐射、热传导及材料特性等各种因素的情况下,建立了该电热微夹钳的有限元模型,利用该模型分别进行了稳态和瞬态的仿真分析,模拟出输出位移和温度场随电压的变化情况,以及电热微夹钳的热响应时间.对仿真的结果进行了讨论.
42.微加工硅悬臂梁在振动环境下的可靠性分析
- 许筱玲;唐洁影
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文分析了悬臂梁在横向振动下的响应,将悬臂梁看作一个质量分布参数系统,采用梁的线性弯曲振动方程,运用数学物理方法计算出悬臂梁在振动载荷下的位移响应和应力分布.根据位移和应力的最大值判断悬臂梁可能的失效模式,从而为MEMS器件可靠性设计提供依据.
43.PMMA面键合的热压法工艺研究
- 朱学林;郭育华;王俊;刘刚;阚娅;田扬超
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文研究了PMMA热压键合工艺,测量了PMMA的键合强度,利用扫描电镜检测了键合后微流体管道的结构变化,讨论了键合温度、键合压力等因素对键合强度的影响;给出了热压键合的合理工艺参数范围.结果表明,经过参数优化后的热压键合法可以满足PMMA微流体器件对键合的需求.
44.安培型免疫传感器电路模型的构造及参数提取
- 李策;中国科学院研究生院;杨海钢;夏善红
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：安培型免疫传感器通过检测其产生的电流信号,可实现生物分子信息的检测与识别.本文通过对安培型免疫传感器输出信号的研究,提出了一个合理的传感器电路模型,运用多种方法对模型进行了参数提取并通过Matlab进行了验证.传感器的建模可以给信号处理电路的设计提供更好的参照,避免参数之间的冲突,同时也使得传感器可以和信号处理电路放在一起进行仿真,提高了前后端电路信号的一致性和芯片设计的成功率.
45.碳纳米管薄膜湿度传感器及其机理
- 曹春兰;重庆通信学院;廖克俊;韦逢艳;杨晓红;李丽
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文制备了以碳纳米管薄膜为湿敏元件的湿度传感器,研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.实验中所用碳纳米管由化学气相沉积法(CVD)合成.实验结果表明,用酸处理后的多壁碳纳米管制得的薄膜湿敏元件的感湿范围宽、灵敏度高、湿滞回差小、响应时间快、稳定性好,可望成为一类新型的湿度传感器.对湿敏机理进行了讨论.
46.多晶硅断裂强度的电测量
- 王立峰;黄庆安
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文分析了两端固定的发热梁的热膨胀力,得到热膨胀力的理论公式.利用这一结论得到了断裂强度测试结构的待测多晶硅薄膜的断裂强度与输入电流的关系式.使用发热梁作驱动将待测多晶硅拉断,只须读取拉断时外加的电流就能计算出多晶硅的断裂强度.使用电测量的方法测试多晶硅的断裂强度,测试方法简单.通过模拟验证,其精度足以满足工艺线在线测试的要求.
47.直接加热终端式MEMS微波功率传感器的设计与模拟
- 陈宁娟;廖小平
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出了一种基于GaAsMMIC工艺的MEMS微波功率传感器.根据热电效应设计了一个X波段热偶微波功率传感器的结构,并对其温度分布用COVENTOR系统软件进行模拟,用HFSS对反射系数进行模拟.输入功率0～50mW,灵敏度为0.3V/W.S11约为-15db.
48.微型齿轮精密微塑性成形工艺研究
- 单德彬;王春举;周健;郭斌
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：为了进行微塑性成形工艺研究,本文设计了一套精密微塑性成形系统.系统采用宏动/微动相结合的驱动模式,既可获得高的位移精度又可以实现较大的冲头行程,在成形过程中对工艺参数进行实时采集和记录.使用该系统进行了微型齿轮的微塑性成形工艺试验,结果表明,微成形件的表面质量好,轮廓清晰,证明采用微塑性成形技术可以成形出质量良好的微型零件.
49.一种低压高精度的CMOS带隙基准电压源
- 高国清;冯勇建
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用0.5μmCMOS工艺设计了一种高精度低压基准电压源.提出了一种结构比较新颖的基准电压源电路,该基准电压源电路具有较低的温度系数、较大的温度范围和较高的电源抑制比.此外,还增加了提高电源抑制比电路、启动电路,以保证电路工作点正常、性能优良,并使电路的静态功耗较小.Spice仿真结果表明:低频时电源抑制比可达70dB;在-40～120℃范围内,输出变化仅为0.004V,温度系数可达25×10-6V/℃;静态功耗小,在电源电压Vdd=3.3V时,总功耗约为0.025mW.
50.多壁碳纳米管在不同表面功能基团自组装膜上的沉积
- 彭倚天;胡元中;王慧
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文制备了表面功能基团为氨基和甲基的自组装膜,将不同表面功能基团自组装膜浸入多壁碳纳米管分散液中沉积,实验观察到,表面为氨基的APTES自组装膜对分散液中的碳纳米管有静电吸附作用而均匀吸附一层碳纳米管,表面为甲基的OTS自组装膜对分散液碳纳米管有排斥作用力而没有吸附碳纳米管,这一实验对利用单根碳纳米管构造纳米电子器件与纳米机械具有重要意义.
51.RF MEMS国内外的发展趋势及我国的发展对策
- 朱健;东南大学
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了近期射频微机电系统(RFMEMS)国内外的研究概况及其应用领域,分析了RFMEMS市场前景,展望了未来发展趋势,提出了我国发展对策.
52.基于拉曼光谱的微结构应力测试方法
- 桑胜波;薛晨阳;熊继军;张文栋
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文讨论了利用拉曼光谱来定量分析由单晶硅和多晶硅材料构成的微机械结构应力测试方法,说明了该方法的基本原理,推导了单晶硅应力σ与相对拉曼频移△ω及多晶硅应力τ与相对拉曼频移△ω的关系,使基于硅体系的拉曼应力测试公式体系化.应用拉曼光谱测试方法对微加速度计悬臂梁和微谐振器支撑梁进行了应力测试.
53.无阀微泵流体特性的数值计算和结构优化设计
- 杜立群;杨季玲;徐征;王立鼎
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文建立了基于收缩管和扩张管整流特性的无阀微泵的整体模型,借助流阻系数对整个微泵内部流体进行分析,得到微泵扩张效率的表达公式.通过数值计算,得到微泵关键部件扩张管元件的扩张比、扩张角以及泵腔高度的优化参数.
54.金硅共晶键合在微机械Golay-cell红外探测器中的应用
- 赵林林;徐晨;杨道虹;霍文晓;赵慧;沈光地
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文利用硅微机械加工技术制备微机械Golay-cell红外探测器硅可动敏感薄膜,探测器气室由带薄膜结构硅片与带孔结构硅片键合密闭形成,气室中敏感气体吸收红外辐射而膨胀,使硅膜产生形变,借助硅膜电极板与金属电极板形成的平行板电容反映该形变变化量.运用Si/Ti/Au/Au/Ti/Si实现对探测器的金/硅共晶键合封装,形成气室,制备出探测器样品并初步得到响应.该键合方法能够进行选择区域键合,实验证明键合强度达到体硅强度.
55.硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究
- 杨轶;张宁欣;任天令;刘理天
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用基底曲率法测量了硅基铁电微声学器件中各层薄膜的残余应力情况,通过调节热氧化的二氧化硅层的厚度,优化了微声学器件中复合膜的残余应力,得到平整的振膜结构,提高了器件的可靠性和成品率.
56.衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响
- 王敏锐;王兢;陈文;崔岩
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用溶胶-凝胶法分别在晶态衬底Si/SiO2/Ti/Pt和无定形态衬底Si/SiO2上制备了ZnO压电薄膜.以X射线衍射仪和原子力显微镜研究了薄膜的002择优取向度和表面形貌.结果表明,采用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt和Si/SiO2衬底上都能制备出具有较好择优取向,表面粗糙度低的ZnO薄膜,而且由于Pt和ZnO的晶格失配度较小,在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上生长的ZnO薄膜形成002择优取向的退火温度低于在Si/SiO2衬底上生长的薄膜形成002择优取向的退火温度.
57.磁控溅射法制备WO3薄膜及其光学性质研究
- 杨晓红;重庆师范大学;王万录;康庆
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用DC磁控溅射的方法在玻璃基片上制备WO3薄膜,在不同温度条件下对薄膜进行退火处理;测量了不同氧分压下制备的薄膜在紫外到可见光范围内的透过率.实验表明,氧分压在75﹪左右条件下制备的薄膜具有较好的光学性能,退火温度在300℃左右可明显改变薄膜的光学性质.
58.基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究
- 张国威;刘晓为;陈伟平;倪鹤南;王喜莲
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文依据扩散口/喷嘴理论,设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口/喷嘴光刻掩模版图,采用硅平面工艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术,制作出了多种无阀微泵.对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究,结果表明:泵压与流量均呈现反比关系;扩散口/喷嘴的张角为8°时微泵效率最高;扩散口/喷嘴长度为2500μm、扩散口/喷嘴的窄口宽度为150μm、腐蚀深度为150μm时,无阀微泵的最大泵压和流量分别为14.9kPa和558μL/min.
59.超短脉冲电流微细电解加工技术研究
- 张朝阳;朱荻;王明环;曲宁松
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文利用电化学腐蚀方法,在自制的电解加工机床上连续实现微细工具电极的制作和工件的加工,通过试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响.结果表明,减小脉冲宽度,降低加工电压,可以提高微细电解加工的精度.利用优化的加工参数,进行了微小孔加工、微细直写加工以及成形电极微细加工的实验.
60.CMOS电路与大量程流量计的单片集成
- 赵涛;张大成;王小保
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作.
61.硅集成冲击片雷管的研制
- 施志贵;杨芳
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了一种利用硅MEMS工艺集成制造冲击片雷管的方法.首先在标准硅片上依次沉积二氧化硅、多晶硅(重掺杂)和铝,经过光刻刻蚀后形成桥单元,接下来采用阳极键合工艺在桥上粘接玻璃片,然后采用深反应离子刻蚀工艺在桥下方反向刻蚀单晶硅衬底到预定深度,形成冲击片雷管的加速膛和飞片层(预留的单晶硅层).这种集成制造技术提高了冲击片雷管的加工精度和可靠性,便于大批量生产和降低制造成本.
62.多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统
- 刘祖韬;黄庆安;李伟华
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文建立了一套多晶硅薄膜材料参数的在线测试系统.系统包括测试结构物理版图、测试设备和计算软件,能够在线测试多晶硅薄膜的主要材料参数,且测试设备和测试方法都与集成电路测试相兼容,即所有物理量的测试都转化为电学量的测量,整个测试过程完全由计算机控制完成.
63.热模压成形技术中的脱模研究
- 郭育华;刘刚;朱学林;王俊;阚娅;田扬超
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过有限元模拟热模压成形中的脱模过程,分析了一般脱模工艺造成图形缺陷的原因;通过优化脱模工艺过程,采用低表面能的聚四氟乙烯作为抗粘剂,减小脱模时的摩擦,获得了高质量的模压复制品.
64.UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响
- 张晔;陈迪;张金娅;朱军;刘景全
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达20:1.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法.
65.紫外激光微烧结金属粉制造微型金属零件的研究
- 陈继民;阳建华;张帅;左铁钏
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文利用高功率三倍频紫外激光选区烧结技术进行了激光微成形试验.通过大量的工艺试验和对激光选区烧结微成形过程中影响因素的分析,探讨了激光选区烧结微成形工艺参数对激光扫描金属粉末的烧结线宽和烧结深度的影响,并最终成形了三维微小的金属实体.
66.MEMS电容式加速度计可靠性研究
- 吝海锋;吕苗;杨拥军;师谦;郑锋;恩云飞
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.
67.基于GMR纳米薄膜的磁场传感器研究
- 刘华瑞;欧阳可青;任天令;曲炳郡;李伟;刘理天
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过高真空磁控溅射、离子束刻蚀、光刻、铝引线溅射、正胶剥离等工艺,制造了用GMR纳米薄膜作为核心部分的磁场传感器.经过退火工艺后的GMR薄膜的磁电阻变化率为7.91﹪,矫顽力为0.054π×103A/m(0.05Oe).用这种GMR薄膜制备的磁场传感器的线性区域为-154π×103～154π×103A/m,输出线性度为0.9993.这种高线性度的磁场传感器在汽车工业和自动化控制系统等领域中起到举足轻重的作用.
68.单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究
- 赵江铭;沈雪谨;张永宇;陈晓阳
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的线性函数,是交流驱动电压的二次幂函数;相同条件下,单侧支撑微谐振器的振幅输出大于双侧支撑微谐振器的振幅输出.
69.微型发动机的研究进展
- 李勇;曾鸣;陈旭鹏;吴鑫;王飞
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文综述了目前国内外典型微型发动机研究的现状和技术特点,介绍了所设计的微型发动机的设计制作,分析了微型发动机的发展趋势和面临的挑战.
70.微米纳米技术在空间技术中的应用研究
- 尤政;李滨
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：空间技术对MEMS技术的需求主要体现在两个方面:首先是探索以MEMS技术为代表的微米/纳米技术在航天领域的应用,这方面的研究更多地体现MEMS技术对航天领域的技术推动作用,其成果主要体现在研制若干适合于航天领域使用的MEMS器件;其次主要以"虚拟卫星"和"网络卫星"为研究背景,介绍了采用一体化设计与系统集成的研究方法研制出的先进MEMS卫星.介绍了国内外微型航天器和MEMS的发展概况,重点分析了MEMS技术在微型航天器中的应用,指出了其发展前景,并介绍了目前我国在航天MEMS技术方面的研究情况.
71.高分子网络凝胶法制备氧化物纳米陶瓷粉体
- 李洪波;骆俊廷;张凯锋
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文以Al2O3和Y2O3纳米陶瓷粉体的制备为例,研究了高分子网络凝胶法制备氧化物纳米陶瓷粉体的过程及其影响因素.制备了颗粒尺寸小于20nm的Al2O3和Y2O3粉体,分析了网络凝胶机理和胶体的热失重过程.对粉体进行煅烧发现:氧化铝的最佳煅烧温度为1100℃;氧化钇的最佳煅烧温度为850℃.单体和网络剂的摩尔比例对粉体粒度有一定影响:当单体和网络剂的比例为5:1时,所制备的纳米颗粒尺寸细小,均匀;当比例偏离5:1较大时,团聚比较严重,且一部分颗粒尺寸长大,造成颗粒尺寸分布不均匀.
72.ICP体硅深刻蚀中侧壁形貌控制的研究
- 陈兢
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文对影响电感耦合等离子(ICP)刻蚀侧壁形貌的工艺参数进行了分析,通过改变刻蚀/钝化周期、平板电极功率、钝化气体C4F8流量以及重叠周期等工艺参数,对侧壁的形貌进行调整.通过实验,得到了控制侧壁形貌正负的优化方案,并极大地减小了Bowing效应;提出一种消除Notching效应的新方法,并用于深槽隔离工艺,取得了很好的效果.
73.微能源的研究现状及发展趋势
- 朴相镐;褚金奎;吴红超;杜小振
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋.随着微机电系统(MEMS)技术的发展,与之相关的微能源技术得到人们更多的重视.人们希望MEMS技术和微能源技术互为促进,运用MEMS技术工艺改善和提高微能源的性能,同时微能源以某种方式集成于MEMS中,使MEMS具有更加强大和完备的功能.目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍.本文介绍了微能源技术的研究现状和发展趋势,介绍了国际上微型锌镍电池、微型内燃机系统、微型锂电池、微型太阳电池、微型燃料电池和微型同位素电池研究工作的最新进展.简单分析了微能源的发展方向和应用前景.
74.水平式隧穿磁强计的反馈控制系统设计
- 汤学华;王晓路;尤政;阎梅芝
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文分析了水平式隧穿磁强计控制系统的原理和特点;给出了反馈控制系统传递函数方框图;求出了水平式隧穿磁强计的表头、隧道效应及梳齿静电驱动等框图的传递函数.采用二阶有源带通滤波的方式来减弱外界的噪声影响,经实验验证,降低了隧道间隙的变动量,使得隧道间隙从0.4～1.6nm减少到0.9～1.1nm,满足设计要求.
75.刷片式微过载开关的设计
- 陈光焱
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文设计了一种刷片式微过载开关,其结构由绝缘基底、检测质量块、折叠梁、电刷臂、导电片及盖板组成;电刷臂上施加了预压力使之与导电片可靠接触.在外界加速度作用下,检测质量块发生位移,带动电刷臂在导电片上滑动,可实现常开状态的接通,也可实现常闭状态的断开.利用有限元软件ANSYS对开关结构进行了仿真分析,确定了合适的结构参数,提出了加工方案.
76.PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析
- 方华斌;徐峥谊;刘景全;陈迪;蔡炳初
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文设计了一种硅微悬臂梁结构,在低频环境中以压电厚膜进行信号转换、谐振.使用有限元分析软件ANSYS对结构建模,并进行模态和谐响应分析.模拟分析的结果表明:通过制备添加金属质量块及选择合理的尺寸范围,结构固有频率可在100～1500Hz之间;该结构在共振条件下将运动信号转换为电压信号输出时,电压可达0.4V以上,足以开启双锗二极管进行电路整流.
77.多级MEMS铁电制冷器有限元分析
- 尚永红;李艳秋;张清涛;刘少波
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究.数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,这对研究MEMS制冷器的结构及运行方式有重要意义.
78.面向聚合物微结构制作的热压成形设备的研制
- 王晓东;刘冲;王立鼎
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文简要介绍了聚合物微结构热压成形的基本原理以及工艺参数和成形过程,根据工艺要求,确定了热压成形设备所应具有的温度、压力控制等基本功能.研制了RYJ-工型热压成形机,其上下热压头采用独立的温度控制,压力通过传感器进行反馈控制,在机械结构的设计上采取了几项措施,保证了上下热压头两个热压表面之间平行.控制系统的软件采用面向对象的程序设计方法,并采用了独立线程、高精度多媒体定时器、开放式数据库联接等技术,对温度、压力等进行高精度实时控制.介绍了RYJ-Ⅱ型热压成形机的研制情况,该型成形机温度、压力的控制范围大,适用于绝大多数聚合物材料微结构的制作.
79.用于光电子器件对准的显微立体视觉系统及其标定方法研究
- 吴跃民;刘荣;董代
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文开发了用于光电子器件对准的显微立体视觉系统.该系统采用两个光轴交汇的可变焦镜头和CMOS摄像机采集图像;用调节螺钉实现视场匹配与聚焦匹配;采用了带误差修正的线性成像模型进行标定;标定控制点图像坐标的提取则利用Hough变换的方法来提高精度.目前,该系统已成功用于光电子器件对接机器人的视觉测量中.
80.一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计
- 王佳能;温志渝;张流强
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,本文利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器.对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析.设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能.
81.一种射频微机械可变电容的设计与优化
- 李丽;中国电子科技集团公司第十三研究所;赵正平;张志国;中国电子科技集团公司第十三研究所;吕苗
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通过电容极板传输,而直流控制电压则施加在控制极板上.使用HFSS软件对该电容进行了结构仿真及优化,得到最大Q值为171(1.6GHz).结构优化后,调节范围为15.6,并设计了该电容的工艺流程,具有工艺简单、易与标准的IC电路集成等优点.
82.O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究
- 张清涛;李艳秋;尚永红;刘少波
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝胶的热解过程,确定了420℃为溶胶的热解温度,750℃为合理的结晶温度;以Pt/Ti/Si(100)为衬底,成功地制备了0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3铁电薄膜.通过X射线衍射分析了热处理温度对薄膜相的影响.通过高倍显微镜研究了薄膜的表面形态,通过ZT-Ⅱ型铁电参数测试仪对PMNT薄膜进行了铁电性能测试.测试结果表明,制备的PMNT铁电薄膜为具有完全钙钛矿相的弛豫性PMNT铁电薄膜,薄膜无裂纹,致密性好,其剩余极化和矫顽场分别可达到2.5μC/cm2和45kV/cm.
83.集成硅纳米线制造技术及其电学性质研究
- 刘文平;宋达;李铁;李昕欣;王跃林
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用传统MEMS工艺,利用精巧的结构设计和准确的工艺控制,制作出一种新型的、在芯片上可集成的、直径可控的硅纳米线,对其形貌和电学特性进行了初步测试和讨论.纳米线的直径达到50nm以下,长度为3～15μm,两端固支,底部悬空.电学测试结果表明,硅材料的表面活性很高,由于比表面积的增大,硅纳米线哌的电学特性受表面态的影响非常大.新鲜表面的硅纳米线与暴露在空气中一定时间的纳米线的I-V特性有着明显的不同.
84.谷光甘肽对金纳米粒子的粒径控制
- 朱林佩;王英;张亚非
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文利用谷光甘肽对金纳米粒子进行粒径控制.用柠檬酸三钠和谷光甘肽还原氯金酸的方法制备金纳米粒子,通过改变谷光甘肽加入量从而实现对金纳米粒子粒径的控制.实验获得了粒径不同、单一分散的金溶胶溶液.通过粒径分析和紫外-可见光谱进行谷光甘肽对金纳米粒子粒径影响的分析,结果表明,随着谷光甘肽加入量的增加,金纳米粒子的粒径逐渐减小,纳米粒子的均匀性逐渐增加.为金纳米粒子在DNA检测、生物及医药等领域方面的应用提供了新的途径.
85.微收缩-扩张管道对电泳分离区带展宽的影响
- 陈莉;刘冲;王颂;徐征
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：分离通道的形状误差是影响毛细管电泳分离效果的重要因素,它使得样品区带展宽,导致检测时峰高减小,半峰宽增大,进而使分离柱效下降,分辨率降低.本文建立了模拟微管道形状误差的锥形收缩-扩张管道模型,进行了电泳分离过程的数值模拟,通过比较不同收缩角情况下样品分离的峰高和半峰宽值,得出了收缩管道对分离区带展宽的影响,并从流动机理上分析了产生这种影响的原因,为毛细管电泳芯片的设计优化提供了数据参考.
86.MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究
- 聂萌;黄庆安;李伟华
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松比之间的关系提取薄膜的泊松比.在确定的工艺条件下,选择多组尺寸的测试结构用CoventorWare软件计算吸合电压值,分析不同梁长对提取等效弹性模量精度的影响,表明选择合适的梁长可得到具有较高精度的泊松比.
87.纳米聚焦离子束系统液态金属离子源的研制
- 马向国;中国科学院研究生院;顾文琪
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备.发射尖的腐蚀采用自主开发的一套发射尖腐蚀设备腐蚀而成,该设备保证了源尖腐蚀工艺的可靠性和可重复性,腐蚀后的发射尖曲率半径在0.5～5μm之间.液态金属储备槽采用同轴针形结构,槽的材料采用高温下不易与金属镓发生反应的金属钼,这种源结构的优点是可以调节发射尖伸出合金槽的长度,储备的液态金属多,减少了液态金属蒸发对系统造成的污染,源发射尖到达寿命后结构仍可使用,该源具有良好的发射特性(达到100μA)、长寿命(1000h以上)和稳定度.该源与纳米聚焦离子束系统结合,将为纳米离子束加工带来新的发展前景,从而为研究其他单质源或合金源提供经验.
88.P+膜制备工艺研究
- 林雁飞;冯勇建;张丹
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过对浓硼扩散工艺的介绍,讨论了沉积过程中的几个重要参数,并针对扩散过程中出现的硼硅玻璃等问题,提出了可行的解决方法.
89.纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究
- 王英;杨明来;张效岩;蔡炳初;徐东;张亚非
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用LB(langmuir-blodgett)排布技术制备了大面积高密度的FePt纳米粒子单层膜,利用纳米粒子单层膜作为掩模,通过反应离子刻蚀技术进行了纳米刻蚀研究.实验结果表明,采用纳米粒子单层膜作为掩模,通过控制反应离子刻蚀条件可以实现纳米级(小于50nm)的纳米点阵和纳米柱的刻蚀.
90.PECVD氮化硅薄膜制备工艺研究
- 李伟东;吴学忠;李圣怡
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文通过原子力显微镜和台阶仪观察测试PECVD氮化硅薄膜的表面形貌及其在HF缓冲液中的被腐蚀速率,研究了用SiH4和NH3作反应气体时,影响PECVD氮化硅薄膜均匀性、致密性、淀积速率、被腐蚀速率的几个关键因素,并对一些常用的工艺参数进行了总结.
91.表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试
- 许高斌;汪家文
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应用价值和借鉴意义.
92.基于巨磁电阻(GMR)效应的生物分子识别器件研究
- 王明;吴昌哲;宋涛
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文对基于巨磁电阻(GMR)效应的生物分子识别器件的结构和微加工,以及检测原理、检测方法进行了介绍,构建了对应于这种生物分子识别器件的信号检测和处理系统.采用微细加工的方法制成了基于巨磁电阻(GMR)效应的生物分子识别器件,生物分子识别器件的结构是多个磁隧道结组成的传感器阵列,单个磁隧道结尺寸为10μm×20μm,退火后磁阻效应可达86.5‰,检测灵敏度可达8×10-4A/m,采用厚度小于100nm的PDMS作为器件的生物适应层,可将检测信号提高27倍以上.基于巨磁电阻(GMR)效应的生物分子识别器件主要应用于基因分析、医学诊断、免疫分析和药物筛选等领域.
93.显微粒子图像测速计算方法
- 段仁庆;黎永前;刘冲
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：粒子图像计算方法是显微粒子图像测速技术中重要的研究内容,图像计算精度是决定流体测速结果不确定度的重要因素.本文在分析单幅双曝光自相关算法和单幅单曝光互相关算法的基础上,将统计互相关算法和平均算法相结合,提出平均统计互相关算法.在不同诊断窗口大小下对粒子图像的计算结果显示,统计互相关算法的精度高于其他两种相关算法.分析了诊断窗口大小对计算精度的影响,给出计算参数的选择方法,并给出利用平均统计互相关算法计算微沟道中粒子图像的结果.
94.推挽式线性驱动隧穿加速度计研究
- 何洪涛;杨拥军
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了隧穿加速度计的工作原理,设计了一种利用线性梳齿驱动、推挽式力平衡闭环控制的MEMS隧穿加速度计,采用体硅溶片工艺研制出了原理样机,由于结构和工艺简单,获得了较高的成品率,此技术还应用于隧穿陀螺仪和隧穿磁强计的研制.
95.MEMS虚拟运行中的运动规律求解器
- 谭宜勇;赵新;卢桂章
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了基于部件库的MEMS设计系统中虚拟运行的运动规律求解器.提出了运行中规律求解和实时问题的解决方法,介绍了AI领域中问题自动求解的研究,把推理算法和编译技术结合在一起,描述了运动规律求解器的实现框架.
96.驱动信号与微波信号物理隔离的RF MEMS开关的研究
- 朱健;南京电子器件研究所;郁元卫;陆乐;贾世星;张龙;周百令
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文针对MEMS开关在宽带应用时遇到的驱动信号与微波信号间的干扰问题,论述了驱动信号与微波信号物理隔离的多种开关的设计,分析了4种结构形式的MEMS开关,使用IntelliSuite软件进行开关机电耦合分析.在开关总的结构尺寸确定的前提下,使用ADS/Momentum场分析软件,微调膜桥和梁的结构参数,通过通孔接地实现微带线与CPWG信号的连接,通过驱动电极的结构和连接方式及与微波信号线间隙的调整,实现了MEMS开关整体性能的优化.
97.微阵列点样器的制作方法
- 李佳;陈良格;林华水;田昭武
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文提出了一种利用CO2激光对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)进行快速微加工,制作微阵列点样器的新方法.利用该微阵列点样器将多个样品平行同步地转移到尼龙膜基底上,形成微阵列芯片.微阵列点样器包含有48个间距为1500μm的6×8阵列式微通道,液体转移头内径为80μm.转移到基底上的样点平均半径为200μm,其样点直径相对标准偏差为2.45﹪.
98.分子动力学模拟研究具有'荷花效应'的微流通道
- 贾可;张鸿海;范细秋;刘胜
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文采用非平衡分子动力学模拟(NEMD)分析了流体在具有"荷花效应"的微流通道中的边界滑移现象.选择不同尺度的纳米级图样、通道管壁厚度、不同的密度和温度分别进行了多次模拟分析,根据模拟结果对比分析了以上各参数对流体流动方向的速度分布、速度最大值及其在通道中流动垂直方向上的位置的影响,确定了适宜的条件,使得通道中流体的速度滑移达到最大,流速这到最快.从对模拟结果的分析可知,流体流动方向的速度在通道上下边界的值及其最大值受到纳米图样高度和通道内径影响显著;在对不同密度的流体的模拟分析中发现,最大速度滑移与最大流速对应不同的流体密度.
99.纳米梁的动态特性研究
- 宋震煜;于虹;黄庆安
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文根据Langmuir的单层吸附理论分析了梁对气体的动态吸附,考虑了在气体自由程和梁的尺寸可比拟时的气体阻力作用,并在此基础上对原有的谐振梁振动的非线性模型作了修正.
100.MEMS及微系统的计算机模拟与辅助设计
- 陈伟平;揣荣岩;沈阳工业大学;田丽;张丹;黑龙江大学;刘晓为
- 《中国微米纳米技术第七届学术年会》 | 2005年
摘要：本文介绍了MEMSCAD的特点及MEMS与微系统的设计方法,对MEMSCAD系统中的系统级、器件行为级、器件物理级及工艺级等各级仿真器的特点、相互关系及在MEMSCAD中的作用进行了分析,并对MEMSCAD方法、MEMS与微系统的EDA工具进行了综述.