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表面加工多晶硅薄膜电阻温度系数的在线测试

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本文提出了一种在线提取多晶硅薄膜电阻温度系数的简单测量方法.给出了瞬态热电分析模型,综合考虑了各种散热因素如对流、辐射以及向衬底传热的影响,通过实验提取出参数.提出的方法对分析其他MEMS器件的热电特性和监控器件设计都具有实际应用价值和借鉴意义.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|401-403406|共4页
会议地点大连
作者
许高斌; 汪家文;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电阻系数测量;
关键词
电阻温度系数; 在线测试; 多晶硅薄膜; 表面微加工;

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