一种简单的表面加工多晶硅薄膜热扩散率在线测试结构

戚丽娜; 黄庆安; 李伟华

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本文提出了一种表面加工多晶硅薄膜的在线测试结构.模型综合考虑了辐射、对流以及向衬底的传热等因素的影响,通过分析两个长度不同但宽度与厚度相同的梁在相同加热电流下的瞬态电阻变化特性,来提取多晶硅薄膜的热扩散系数.用ANSYS软件验证了该模型的正确性,通过实验测得表面加工多晶硅薄膜的热扩散率为1.059×10-5±3×10-6m2/s.

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来源
《电子学报》 |2006年第8期|1549-1552|共4页
作者
戚丽娜; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
多晶硅薄膜; 热扩散率; 瞬态特性;

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