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中国微米/纳米第六届学术年会
中国微米/纳米第六届学术年会
召开年:
2003
召开地:
太原
出版时间:
2003-08-27
主办单位:
北京大学;中国电子科技集团公司
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《中国微米/纳米第六届学术年会》
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2003年
69.
脉冲激光MEMS加工技术
李艳宁
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唐洁
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饶志军
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宋晓辉
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胡晓东
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傅星
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胡小唐
《中国微米/纳米第六届学术年会》
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2003年
70.
紫外线厚胶光刻技术研究及应用
李雯
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谭智敏
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薛昕
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刘理天
《中国微米/纳米第六届学术年会》
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2003年
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