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基于MEMS技术的微波(RF)滤波器的设计

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微波MEMS(RF-MEMS)滤波器是一种基于硅微加工技术的新型器件.由于RF-MEMS器件具有体积小、承受功率大、性能优良、成本低以及易于与后续的电路集成等突出优点,因此,由薄膜体声波谐振器(FBAR)构成的RF-MEMS滤波器在微波通讯系统的射频前端将取代传统的声表面波(SAW)滤波器.从以MEMS技术制作的薄膜体声波谐振器(FBAR)为基本单元构成梯子式(Laddertype)射频滤波器的原理出发,对滤波器的性能和设计进行分析,并对实际滤波器中的问题进行了较详细的探讨.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|158-160|共3页
会议地点大连
作者
乔东海;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微波与超高频技术;
关键词
微波滤波器; 射频滤波器; MEMS器件; 薄膜体声波谐振器; 硅微加工技术;

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