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一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计

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为了提高传统探测器的响应度和灵敏度,本文利用微机电系统(MEMS)的方法设计了一个微梁红外热探测器.对硅基微悬臂梁红外热探测器的工作原理进行了详尽的分析.设计了一个实验平台来测量微悬臂梁的变形,实验结果表明,基于MEMS技术的红外热探测器有良好的性能.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|235-237|共3页
会议地点大连
作者
王佳能; 温志渝; 张流强;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类热敏电阻热辐射探测器;梁、曲梁;
关键词
红外热探测器; 微机电系统; 微悬臂梁; 响应时间; 灵敏度;

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1. 一种基于MEMS技术的红外热探测器研究与设计 [J] . 王佳能 ,温志渝 ,张流强 . 中国机械工程 . 2005,第0z1期
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