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射频微机械可变电容的设计与模拟

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本文介绍了一种可用于射频通信系统压控振荡器中的基于MEMS的平行板可变电容.该电容通过采用新的"一上两下"(一个上极板,两个下极板)结构,使电容值的变化范围突破了传统两层平行板可变电容的150﹪的理论限制.上极板上加电压后,在静电力作用下向下移动从而改变电容值.当所加电压值从1V变化到10V时,电容值相应从0.39pF变化到0.96pF(变化范围为246﹪).使用CoventorWare、HFSS软件对电容进行了模拟,给出了C-V曲线、S11参数随频率的变化曲线图.将该电容用于考比兹压控振荡器电路中进行了模拟,给出了输出波形图.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|275-278|共4页
会议地点大连
作者
董乔华; 廖小平;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类可变电容器;振荡器;
关键词
可变电容; MEMS; VCO; 射频微机械; 压控振荡器;

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