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一种射频微机械可变电容的设计与优化

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本文提出了一种高Q值、宽调节范围的凹型结构微机械可变电容.它由4个(3对)极板构成,其中一对为电容极板,另外两对为控制极板.RF信号通过电容极板传输,而直流控制电压则施加在控制极板上.使用HFSS软件对该电容进行了结构仿真及优化,得到最大Q值为171(1.6GHz).结构优化后,调节范围为15.6,并设计了该电容的工艺流程,具有工艺简单、易与标准的IC电路集成等优点.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|240-242|共3页
会议地点大连
作者
李丽; 中国电子科技集团公司第十三研究所; 赵正平; 张志国; 中国电子科技集团公司第十三研究所; 吕苗;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类可变电容器;
关键词
可变电容; 射频微机械; 高Q值; 宽调节范围;

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