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一种低损耗X波段微机械带通滤波器的设计与实现

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本文采用MEMS工艺在两层高阻硅衬底上研制了一种低损耗的X波段滤波器.使用HFSS软件进行了结构仿真及优化,得到的带内损耗小于2dB,带外抑制大于40dB.设计了该滤波器的工艺流程并进行了投片,经测试,获得的滤波器的测试结果与仿真结果比较接近.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|231-232|共2页
会议地点大连
作者
李倩; 赵瑞华; 吕苗; 胡小东;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微波半导体器件;
关键词
带通滤波器; 射频微电子机械; 微机械加工; 微封装;

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