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MEMS电容式加速度计可靠性研究

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本文探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分层失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析.通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,温度对电容式加速度计性能影响最大,最终完成了满足实用化要求的MEMS微加速度计设计.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|124-126|共3页
会议地点大连
作者
吝海锋; 吕苗; 杨拥军; 师谦; 郑锋; 恩云飞;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类可靠性及例行试验;
关键词
微电子机械系统; 电容式加速度计; 可靠性;

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