应用于MEMS加速度计的电容式检测电路设计

代志双; 徐亮; 谢亮; 金湘亮

首页> 中文期刊> 《传感器与微系统》 >应用于MEMS加速度计的电容式检测电路设计

应用于MEMS加速度计的电容式检测电路设计

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

cqvip:基于相关双采样、斩波技术以及电容自适应校准技术,设计了一种低噪声、高动态范围的全差分电容式微系统(MEMS)加速度计检测电路。在检测电路感应电容中采用电容自适应校准技术,消除电容失配,提高检测范围;在开关电容低通滤波器中加入斩波,降低滤波器噪声;控制滤波器时序,消除电荷注入引起的非线性。在5 V电源供电下,仿真结果表明:检测电路输出线性电压范围为±3 V,在0.01~300 Hz范围内,等效输出噪声为650 nV,检测动态范围高于120 dB。

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2020年第5期|77-80|共4页
作者
代志双; 徐亮; 谢亮; 金湘亮;
展开▼
作者单位

湘潭大学物理与光电工程学院湖南湘潭411105;

微光电与系统集成湖南省工程实验室湖南湘潭411105;

湖南师范大学物理与电子科学学院湖南长沙410081;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
低噪声; 高动态范围; 微系统(MEMS)加速度计; 电容自适应校准; 相关双采样; 斩波技术;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于MEMS电容式加速度计的闭环读出电路设计 [J] . 徐娇 ,张玉龙 ,杨中宝 . 传感技术学报 . 2021,第002期
2. 新型电容式MEMS加速度计数字接口电路设计 [J] . 李宗伟 ,丛宁 ,熊兴崟 . 电子学报 . 2016,第010期
3. 非硅MEMS电容式微加速度计的测控电路设计 [J] . 张运奎 ,崔峰 ,万镇 . 传感器与微系统 . 2012,第002期
4. 低噪声电容式MEMS加速度计接口专用集成电路设计 [J] . 刘云涛 ,刘晓为 ,陈伟平 . 纳米技术与精密工程 . 2010,第002期
5. 基于风洞的电容式加速度计检测电路设计 [J] . 安文倩 ,朱目成 ,聂诗良 . 电脑知识与技术 . 2011,第013期
6. MEMS电容式加速度计可靠性研究 [C] . 吝海锋 ,吕苗 ,杨拥军 . 中国微米纳米技术第七届学术年会 . 2005
7. 应用于电容式MEMS加速度计的高精度检测电路设计 [A] . 代志双 . 2019

应用于MEMS加速度计的电容式检测电路设计

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅