应用于电容式MEMS加速度计的高精度检测电路设计

著录项

• 作者

  代志双;

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• 作者单位

  湘潭大学;

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• 授予单位 湘潭大学;
• 学科 集成电路工程
• 授予学位 硕士
• 导师姓名 谢亮;
• 年度 2019
• 页码
• 总页数
• 原文格式 PDF
• 正文语种 中文
• 中图分类 自动化技术及设备;光电子技术、激光技术;
• 关键词

  电容式; MEMS加速度计; 高精度检测;