首页> 中文会议>中国微米纳米技术第七届学术年会 >衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响

衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文采用溶胶-凝胶法分别在晶态衬底Si/SiO2/Ti/Pt和无定形态衬底Si/SiO2上制备了ZnO压电薄膜.以X射线衍射仪和原子力显微镜研究了薄膜的002择优取向度和表面形貌.结果表明,采用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt和Si/SiO2衬底上都能制备出具有较好择优取向,表面粗糙度低的ZnO薄膜,而且由于Pt和ZnO的晶格失配度较小,在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上生长的ZnO薄膜形成002择优取向的退火温度低于在Si/SiO2衬底上生长的薄膜形成002择优取向的退火温度.

著录项

来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|321-323|共3页
会议地点大连
作者
王敏锐; 王兢; 陈文; 崔岩;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21;TN304.055;
关键词
ZnO压电薄膜; 溶胶-凝胶法; 002择优取向; 衬底; 晶态; 非晶态;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响 [J] . 王敏锐 ,王兢 ,陈文 . 中国机械工程 . 2005,第0z1期
2. 衬底对溶胶-凝胶法制备 ZnO 薄膜晶体结构和发光特性的影响 [J] . 胡界博 . 江汉大学学报（自然科学版） . 2010,第001期
3. 溶胶-凝胶法在聚酰亚胺衬底上制备c轴取向ZnO薄膜 [J] . 蒋里锋 ,冯魏良 ,黄培 . 高等学校化学学报 . 2013,第003期
4. 非晶衬底上择优取向ZnO纳米晶薄膜的溶胶-凝胶法制备技术 [J] . 唐利斌 ,姬荣斌 ,郑云 . 红外技术 . 2007,第002期
5. LiAlO_2衬底上ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和表征 [J] . 林辉 ,宋涛 ,周健华 . 人工晶体学报 . 2007,第4期
6. 不同衬底对溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜结构的影响 [C] . 谢燕楠 ,黄火林 ,吴正云 . 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议 . 2009
7. ZnWO单晶为衬底溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜 [A] . 田战魁 . 2006

衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅