首页> 中文会议>中国微米纳米技术第七届学术年会 >大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计

大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文介绍了一种新型扫描探针显微镜镜体的设计,该镜体的扫描工作平台可以在3个方向以每步10nm的精度移动,它突破了扫描探针显微镜中压电陶瓷对扫描范围的限制,采用非压电陶瓷机械传动装置实现了大范围扫描.该设计采用逐级定位扫描放大技术将纳米测量与纳米加工范围延伸到25mm×25mm,甚至更大,镜体设计已经获得国家实用新型专利(ZL02221502.6).将该镜体应用在STM和AFM上,实现了对样品的大范围扫描检测,并保证了测量的高精度.

著录项

来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|52-54|共3页
会议地点大连
作者
王银峰; 杨学恒; 刘安平; 陈昌水;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类显微镜;生物显微技术;
关键词
扫描探针显微镜; 镜体设计; 大范围; 高精度; 工作平台; 三维数显镜体;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计 [J] . 王银峰 ,杨学恒 ,刘安平 . 中国机械工程 . 2005,第0z1期
2. IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描三维驱动系统研究 [J] . 刘安平 ,刘济春 . 中国机械工程 . 2010,第016期
3. 基于数字微镜和旋转扫描技术的体三维显示器 [J] . 邢建芳 ,龚华军 ,沈春林 . 光电子．激光 . 2008,第8期
4. 激光扫描共聚焦显微镜对人类染色体三维结构的观察 [J] . 林珏龙 ,陈耀文 ,刘鸿禧 . 激光生物学报 . 2002,第001期
5. 高精度低连接刚度大惯量扫描镜控制系统设计 [J] . 闵溢龙 ,王淦泉 . 宇航学报 . 2021,第002期
6. 一种无刷直流电机驱动的高精度转镜式激光扫描器设计 [C] . 高志良 . 第九届全国信息获取与处理学术会议 . 2011
7. IPC-208B型原子力扫描显微镜的镜体设计及其应用 [A] . 刘济春 . 2005

大范围扫描的高精度三维数显镜体的设计

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅