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推挽式线性驱动隧穿加速度计研究

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本文介绍了隧穿加速度计的工作原理,设计了一种利用线性梳齿驱动、推挽式力平衡闭环控制的MEMS隧穿加速度计,采用体硅溶片工艺研制出了原理样机,由于结构和工艺简单,获得了较高的成品率,此技术还应用于隧穿陀螺仪和隧穿磁强计的研制.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|137-139|共3页
会议地点大连
作者
何洪涛; 杨拥军;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类化合物半导体;
关键词
加速度计; MEMS; 隧穿效应; 推挽式;

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