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基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法

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本文针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真.以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3﹪,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|1272-1275|共4页
会议地点大连
作者
吕湘连; 苑伟政; 何洋; 霍鹏飞;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类计算机仿真;
关键词
异构宏模型; 系统级建模; 微机电系统; 仿真;

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