RF MEMS国内外的发展趋势及我国的发展对策

著录项

• 来源
  《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|4-7|共4页
• 会议地点 大连
• 作者

  朱健; 东南大学;

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• 作者单位

  中国机械工程学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 制造工艺;
• 关键词

  射频微机电系统; 微机械加工; MEMS封装; 可重构网格;