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MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究

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本文提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松比之间的关系提取薄膜的泊松比.在确定的工艺条件下,选择多组尺寸的测试结构用CoventorWare软件计算吸合电压值,分析不同梁长对提取等效弹性模量精度的影响,表明选择合适的梁长可得到具有较高精度的泊松比.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|379-381|共3页
会议地点大连
作者
聂萌; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类一般性问题;工程材料力学（材料强弱学）;梁、曲梁;
关键词
泊松比在线测量; MEMS薄膜; 两端固支梁; 等效弹性模量; 材料力学性能;

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