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纳米聚焦离子束系统液态金属离子源的研制

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本文叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备.发射尖的腐蚀采用自主开发的一套发射尖腐蚀设备腐蚀而成,该设备保证了源尖腐蚀工艺的可靠性和可重复性,腐蚀后的发射尖曲率半径在0.5～5μm之间.液态金属储备槽采用同轴针形结构,槽的材料采用高温下不易与金属镓发生反应的金属钼,这种源结构的优点是可以调节发射尖伸出合金槽的长度,储备的液态金属多,减少了液态金属蒸发对系统造成的污染,源发射尖到达寿命后结构仍可使用,该源具有良好的发射特性(达到100μA)、长寿命(1000h以上)和稳定度.该源与纳米聚焦离子束系统结合,将为纳米离子束加工带来新的发展前景,从而为研究其他单质源或合金源提供经验.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|382-384|共3页
会议地点大连
作者
马向国; 中国科学院研究生院; 顾文琪;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类干法腐蚀工艺;大规模集成电路、超大规模集成电路;
关键词
纳米聚焦离子束; 液态金属离子源; 发射尖; 腐蚀; 超大规模集成电路;

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