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Journal of Vacuum Science & Technology. B

Journal of Vacuum Science & Technology. B

SCIEICA

中文名称：真空科学与技术学报。乙

ISSN：1071-1023
出版周期：

发文量：6065

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1.Tool runout effects on wear and mechanics behavior in microend milling

机译：刀具跳动对微立铣中磨损和力学行为的影响
- 作者：Q. S. Bai;K. Yang;Y. C. Liang;C. L. Yang;B. Wang
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第3期
2.Sub-10-nm nanolithography with a scanning helium beam

机译：扫描氦束的亚10纳米纳米光刻
- 作者：Vadim Sidorkin;Emile van Veldhoven;Emile van der Drift;Paul Alkemade;Huub Salemink;Diederik Maas
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
3.Nondestructive nanoscale profile measurement on two-dimensional photonic crystal structure using differential confocal microscopy

机译：使用差分共聚焦显微镜对二维光子晶体结构进行无损纳米级轮廓测量
- 作者：Wen-Chuan Kuo;Fu-Jay Juang;Hong-Ren Su;Mei-Li Hsieh
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
4.Fabrication of all-metal field emitter arrays with controlled apex sizes by molding

机译：通过模制制造具有可控顶点尺寸的全金属场致发射器阵列
- 作者：E. Kirk;S. Tsujino;T. Vogel;K. Jefimovs;J. Gobrecht;A. Wrulich
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
5.Hot electron transport studies of the Cu/Si(001) interface using ballistic electron emission microscopy

机译：弹道电子发射显微镜研究Cu / Si（001）界面的热电子传输
- 作者：J. J. Garramone;J. R. Abel;I. L. Sitnitsky;R. L. Moore;V. P. LaBella
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
6.Current collapse transient behavior and its mechanism in submicron-gate AlGaN/GaN heterostructure transistors

机译：亚微米栅AlGaN / GaN异质晶体管中的电流崩溃瞬态行为及其机理
- 作者：Hideki Hasegawa;Masamichi Akazawa
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
7.Anisotropic half-metallic ground state of Mn atomic wire on GaAs(110)

机译：GaAs（110）上锰原子线的各向异性半金属基态
- 作者：Motoi Hirayama;Akiko Natori;Jun Nakamura
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
8.n-type, p-type and semi-insulating ZnO:N thin film growth by metal organic chemical vapor deposition with NH_3 doping

机译：NH_3掺杂通过金属有机化学气相沉积法生长n型，p型和半绝缘的ZnO：N薄膜
- 作者：Tahir Zaidi;Andrew Melton;William E. Fenwick;Ian Ferguson
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
9.Inductively coupled plasma etching of GaAs suspended photonic crystal cavities

机译：GaAs悬浮光子晶体腔的电感耦合等离子体刻蚀
- 作者：R. Braive;L. Le Gratiet;S. Guilet;G. Patriarche;A. Lemaitre;A. Beveratos;I. Robert-Philip;I. Sagnes
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
10.Enhanced resolution of poly(methyl methacrylafe) electron resist by thermal processing

机译：通过热处理提高聚甲基丙烯酸甲酯电子抗蚀剂的分辨率
- 作者：Nima Arjmandi;Liesbet Lagae;Gustaaf Borghs
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
11.Chemical effect of dry and wet cleaning of the Ru protective layer of the extreme ultraviolet lithography reflector

机译：干洗和湿清洁极紫外光刻反光镜的Ru保护层的化学作用
- 作者：Leonid Belau;Jeong Y. Park;Ted Liang;Hyungtak Seo;Gabor A. Somorjai
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
12.Feature filling modeling for step and flash imprint lithography

机译：分步和快速压印光刻的特征填充建模
- 作者：Siddharth Chauhan;Frank Palmieri;Roger T. Bonnecaze;C. Grant Willson
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
13.Effects of nitrogen doping of ZnO during or after deposition

机译：沉积过程中或沉积后ZnO的氮掺杂效应
- 作者：Tingfang Yen;Michael DiNezza;Alan Haungs;Sung Jin Kim;Wayne A. Anderson;Alexander N. Cartwright
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
14.Micropatterning of polymeric semiconductor by selective lift-off method using epoxy mold

机译：选择性剥离法利用环氧树脂模具对聚合物半导体进行微图案化
- 作者：Zhe Wang;Xinhong Yu;Rubo Xing;Yanchun Han;Atsushi Takahara
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
15.Resistivity reduction by external oxidation of Cu-Mn alloy films for semiconductor interconnect application

机译：用于半导体互连应用的Cu-Mn合金膜外部氧化引起的电阻率降低
- 作者：J. Iijima;Y. Fujii;K. Neishi;J. Koike
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
16.Patterning of alkanethiolate self-assembled monolayers by downstream microwave nitrogen plasma: Negative and positive resist behavior

机译：下游微波氮等离子体对链烷硫醇自组装单分子层的图案化：负性和正性抗蚀剂行为
- 作者：Chih-Chiang Weng;Jiunn-Der Liao;Yi-Te Wu;Shih-Chun Tsai;Chia-Hao Chen;Michael Zharnikov
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
17.PREFACE

机译：前言
- 作者：Ben Shanabrook;Rudy Ludeke
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
18.Theory and measurements of room temperature transport in graphene using SiO_2 backgate and electrochemical gate

机译：SiO_2背栅和电化学栅在石墨烯中室温迁移的理论与测量
- 作者：R. S. Shishir;F. Chen;J. Xia;N. J. Tao;D. K. Ferry
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
19.Diffraction studies of submonolayer Sr structures on the Si (001) surface

机译：Si（001）表面亚单层Sr结构的衍射研究
- 作者：J. W. Reiner;Y. Segal;K. F. Garrity;H. Hong;S. Ismail-Beigi;C. H. Ahn;F. J. Walker
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
20.In-plane strain effects on dielectric properties of the HfO_2 thin film

机译：面内应变对HfO_2薄膜介电性能的影响
- 作者：Sadakazu Wakui;Jun Nakamura;Akiko Natori
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
21.Capacitance-voltage and photoluminescence study of high-k/GaAs interfaces controlled by Si Interface control layer

机译：Si界面控制层控制的高k / GaAs界面的电容电压和光致发光研究
- 作者：Masamichi Akazawa;Alina Domanowska;Boguslawa Adamowicz;Hideki Hasegawa
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
22.Design and fabrication of surface acoustic wave delay line for surface acoustic wave chemical-agent sensors

机译：声表面波化学试剂传感器的声表面波延迟线的设计与制造
- 作者：Yigui Zhao;Ming Liu;Jingjing Li;Jiebin Niu;Dongmei Li
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
23.Method for measuring solvent permeation through polymer film on porous dielectric films

机译：通过多孔介质膜上的聚合物膜测量溶剂渗透性的方法
- 作者：Robert D. Geil;Jay J. Senkevich;Bridget R. Rogers
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
24.Proximity effect in ion-beam-induced deposition of nanopillars

机译：离子束诱导的纳米柱沉积中的邻近效应
- 作者：Ping Chen;Huub W. M. Salemink;Paul F. A. Alkemade
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
25.Analytical model for ArF photoresist shrinkage under scanning electron microscopy inspection

机译：扫描电子显微镜检查下的ArF光刻胶收缩率分析模型
- 作者：Guy Ayal;David Andelman;Yachin Cohen
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
26.The influence of external load and air pressure on air slide table performance of ultraprecision machines in nanomachining

机译：外载荷和气压对纳米加工中超精密机器滑台性能的影响
- 作者：Mehrdad Vahdati;Nader Vahdati
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
27.Investigation of etching two-dimensional microhole lattice array on lithium niobate with focused ion beam for fabricating photonic crystals

机译：聚焦离子束在铌酸锂上刻蚀二维微孔晶格阵列制备光子晶体的研究
- 作者：Xuefeng Xu;Sha Yan;Jianming Xue;Yugang Wang;Keming Wang;Xuelin Wang
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
28.Lift-off process using bilayer ultraviolet nanoimprint lithography and methacryloxypropyl-terminated-polydimethylsiloxane-based imprint resin

机译：使用双层紫外纳米压印光刻技术和甲基丙烯酰氧基丙基封端的聚二甲基硅氧烷基压印树脂进行剥离工艺
- 作者：Ho Yong Jung;Seon Yong Hwang;Byeong Ju Bae;Heon Lee
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
29.Scanning tunneling microscope-cathodolummescence measurement of the GaAs/AlGaAs heterostructure

机译：扫描隧道显微镜-阴极发光法测量GaAs / AlGaAs异质结构
- 作者：Kentaro Watanabe;Yoshiaki Nakamura;Masakazu Ichikawa;Shigeyuki Kuboya;Ryuji Katayama;Kentaro Onabe
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
30.Violet light-emitting diodes grown on crack-free AlGaN templates

机译：在无裂纹的AlGaN模板上生长的紫罗兰色发光二极管
- 作者：Tong-Wen Wang;Nie-Chuan Chen;Wei-Chieh Lien;Meng-Chyi Wu;Chuan-Feng Shin
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
31.Light enhancement of Al nanoclusters embedded in Al-doped ZnO films of GaN-based light-emitting diodes

机译：嵌入GaN基发光二极管的Al掺杂ZnO膜中的Al纳米团簇的光增强
- 作者：Ching-Ting Lee;Ying-Hung Chou;Jheng-Tai Yan;Hsin-Ying Lee
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
32.Characterization of 5 MeV proton-irradiated gallium nitride nanowires

机译：5 MeV质子辐照氮化镓纳米线的表征
- 作者：H.-Y. Kim;J. Ann;M. A. Mastro;C. R. Eddy Jr.;J. Han;T. Yang;J. Kim
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
33.Energetic deposition of ~(10)B on high aspect ratio trenches for neutron detectors

机译：〜（10）B在高纵横比沟槽上的中子探测器能量沉积
- 作者：C. C. Klepper;O. R. Monteiro;E. P. Carlson;M. D. Keitz
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
34.Fabrication of high quality factor photonic crystal microcavities in InAsP/InP membranes combining reactive ion beam etching and reactive ion etching

机译：结合反应离子束刻蚀和反应离子刻蚀在InAsP / InP膜中制造高质量因子光子晶体微腔
- 作者：L. J. Martinez;I. Prieto;B. Alen;P. A. Postigo
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
35.Dry etch selectivity of a-C: H hardmasks for sub-65 nm patterning applications

机译：a-C：H硬掩模的干法蚀刻选择性，可用于低于65 nm的图案化应用
- 作者：D. Padhi;B. H. Kim;D. Witty
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
36.p-type behavior of nitrogen doped, lithium doped, and nitrogen-lithium codoped Zn_(0.11)Mg_(0.89)O thin films

机译：氮掺杂，锂掺杂和氮锂共掺杂的Zn_（0.11）Mg_（0.89）O薄膜的p型行为
- 作者：M. X. Qiu;X. Q. Gu;Z. Z. Ye;J. G. Lu;H. P. He;Y. Z. Zhang;B. H. Zhao
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
37.Density functional theory calculations and the induced density of interface states model for noble metals/C_(60) interfaces

机译：贵金属/ C_（60）界面的密度泛函理论计算和界面态诱导密度模型
- 作者：E. Abad;J. Ortega;F. Flores
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
38.In_(0.53)Ga_(0.47)As n-metal-oxide-semiconductor field effect transistors with atomic layer deposited Al_2O_3, HfO_2, and LaAlO_3 gate dielectrics

机译：In_（0.53）Ga_（0.47）As原子层沉积有Al_2O_3，HfO_2和LaAlO_3栅极电介质的n-金属氧化物半导体场效应晶体管
- 作者：Han Zhao;Jung Hwan Yum;Yen-Ting Chen;Jack C. Lee
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
39.Ultralow resistance, nonalloyed Ohmic contacts to n-lnGaAs

机译：与n-InGaAs的超低电阻，非合金欧姆接触
- 作者：Ashish K. Baraskar;Mark A. Wistey;Vibhor Jain;Uttam Singisetti;Greg Burek;Brian J. Thibeault;Yong Ju Lee;Arthur C. Gossard;Mark J. W. Rodwell
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
40.Well-aligned TiO_2 nanofibers grown by near-field-electrospinning

机译：通过近场静电纺丝生长的取向良好的TiO_2纳米纤维
- 作者：M. Rinaldi;F. Ruggieri;L. Lozzi;S. Santucci
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
41.X-ray photoelecfron spectroscopy characterization of aminosilane anchored to ZnO nanorod arrays grown by an aqueous solution method with microwave-assisted heating

机译：水溶液辅助微波加热固定在ZnO纳米棒阵列上的氨基硅烷的X射线光电子能谱表征
- 作者：K. Ogata;K. Koike;S. Sasa;M. Inoue;M. Yano
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
42.Synthesis of silicon-containing materials for UV-curable imprint etch barrier solutions

机译：用于紫外线固化压印刻蚀阻挡层溶液的含硅材料的合成
- 作者：Sun-Sik Song;Sang-Mook Kim;Byung-Yeon Choi;Gun-Young Jung;Heon Lee
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
43.Deconvolution analyses of secondary ion mass spectrometry shallow depth profiles with depth resolution functions from silicon substrate-based delta-doped samples

机译：具有深度分辨率功能的二次离子质谱浅深度分布图的反卷积分析
- 作者：Mitsuhiro Tomita;Hiroki Tanaka;Mitsuo Koike;Shiro Takeno;Yutaro Hori;Mamoru Takahashi
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
44.Fabrication of ZnO nanorods by pulsed Nd:YAG laser ablation deposition

机译：脉冲Nd：YAG激光烧蚀沉积制备ZnO纳米棒
- 作者：Yiqun Shen;Ning Xu;Jushui Lai;Jian Sun;Jiada Wu;Zhifeng Ying;Tatsuo Okada
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
45.Ideal SiC Schottky barrier diodes fabricated using refractory metal borides

机译：使用难熔金属硼化物制造的理想SiC肖特基势垒二极管
- 作者：T. N. Oder;E. Sutphin;R. Kummari
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
46.Electrical properties of nanoscale Au contacts on 4H-SiC

机译：纳米级4H-SiC上金触点的电性能
- 作者：Sang Youn Han;Jong-Lam Lee;S. J. Pearton
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
47.Fabrication of Si-based two-dimensional photonic quasicrystals by using multiple-exposure holographic lithography

机译：多曝光全息光刻法制备Si基二维光子准晶体
- 作者：Jong-Bin Yeo;Sang-Don Yun;Nam-Hoon Kim;Hyun-Yong Lee
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
48.Online detection system of microtarget assembly

机译：微靶装配在线检测系统
- 作者：Zurong Qiu;Ting Wang;Jinjiang Wang;Xinghua Li;Ying Zhong
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
49.Dependence of local structural and electrical properties of nitride doped zinc oxide films on growth temperature

机译：氮化物掺杂氧化锌薄膜的局部结构和电性能对生长温度的依赖性
- 作者：Sy-Hann Chen;Chang-Feng Yu;Yen-Ju Liu;Tzu-Jen Lin;Ya-Chi Li
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
50.Evaluation of extreme-ultraviolet lithography mask absorber pattern on multilayer phase defect using extreme-ultraviolet microscope

机译：使用极紫外显微镜评估多层相缺陷上的极紫外光刻掩模吸收体图案
- 作者：K. Hamamoto;N. Sakaya;M. Hosoya;M. Kureishi;R. Ohkubo;T. Shoki;O. Nagarekawa;J. Kishimoto;T. Watanabe;H. Kinoshita
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
51.Accumulated sidewall damage in dry etched photonic crystals

机译：干法刻蚀光子晶体中累积的侧壁损伤
- 作者：A. Berrier;Y. Shi;J. Siegert;S. Marcinkevicius;S. He;S. Anand
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
52.Loop formation in graphitic nanoribbon edges using furnace heating or Joule heating

机译：使用炉子加热或焦耳加热在石墨纳米带边缘形成回路
- 作者：Xiaoting Jia;Jessica Campos-Delgado;Edgar Eduardo Gracia-Espino;Mario Hofmann;Hiroyuki Muramatsu;Yoong Ahm Kim;Takuya Hayashi;Morinobu Endo;Jing Kong;Mauricio Terrones;Mildred S. Dresselhaus
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
53.Surface, bulk, and interface electronic states of epitaxial BiFeO_3 films

机译：外延BiFeO_3薄膜的表面，整体和界面电子态
- 作者：Jun Zhang;M. Rutkowski;L. W. Martin;T. Conry;R. Ramesh;J. F. Ihlefeld;A. Melville;D. G. Schlom;L. J. Brillson
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
54.Electrical transport in GaN nanowires grown by selective epitaxy

机译：通过选择性外延生长的GaN纳米线中的电传输
- 作者：A. Alec Talin;B. S. Swartzentruber;Frangois Leonard;X. Wang;Stephen D. Hersee
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
55.Plasmonic behavior of Ag/dielectric nanowires and the effect of geometry

机译：Ag /介电纳米线的等离子行为及几何形状的影响
- 作者：S. M. Prokes;D. Alexson;O. J. Glembocki;H. D. Park;R. W. Rendeil
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
56.Molecular beam epitaxy of high mobility ln_(0.75)Ga_(0.25)As for electron spin transport applications

机译：高迁移率ln_（0.75）Ga_（0.25）As的分子束外延在电子自旋传输中的应用
- 作者：P. J. Simmonds;S. N. Holmes;H. E. Beere;I. Farrer;F. Sfigakis;D. A. Ritchie;M. Pepper
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第4期
57.Analysis of dielectric constant of a self-forming barrier layer with Cu-Mn alloy on TEOS-SiO_2

机译：TEOS-SiO_2上Cu-Mn合金自形成势垒层的介电常数分析
- 作者：S.-M. Chung;J. Koike
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
58.Analysis of thermally activated kinetics and uniformity of photoresist ashing process on 300 mm wafers

机译：300 mm晶片热活化动力学和光致抗蚀剂灰化工艺均匀性的分析
- 作者：D. L. Mezerette;K. Tanimura;G. K. Vinogradov
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
59.Inductively coupled plasma reactive ion etching of bulk ZnO single crystal and molecular beam epitaxy grown ZnO films

机译：块状ZnO单晶和分子束外延生长ZnO膜的电感耦合等离子体反应离子刻蚀
- 作者：M. Mehta;M. Ruth;K. A. Piegdon;D. Krix;H. Nienhaus;C. Meier
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
60.Mechanism of reducing line edge roughness in ArF photoresist by using CF_3I plasma

机译：CF_3I等离子体降低ArF光刻胶的线边缘粗糙度的机理
- 作者：Eiichi Soda;Seiichi Kondo;Shuichi Saito;Koji Koyama;Butsurin Jinnai;Seiji Samukawa
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
61.Plasma treatment methods to improve indium bump bonding via indium oxide removal

机译：等离子体处理方法，可通过去除氧化铟改善铟凸点结合
- 作者：Frank Greer;Matthew Dickie;R. P. Vasquez;Todd J. Jones;Michael E. Hoenk;Shouleh Nikzad
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
62.Nonlinear large deflection of nanopillars fabricated by focused ion-beam induced chemical vapor deposition using double-cantilever testing

机译：使用双悬臂梁测试通过聚焦离子束诱导化学气相沉积制备的纳米柱的非线性大挠度
- 作者：Hiro Tanaka;Masaki Shinkai;Yoji Shibutani;Yasuo Kogo
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
63.Cu-plated through-wafer vias for AlGaN/GaN high electron mobility transistors on Si

机译：Si上用于AlGaN / GaN高电子迁移率晶体管的镀铜通孔
- 作者：K.-H. Chen;F. Ren;A. Pais;Huikai Xie;B. P. Gila;S. J. Pearton;J. W. Johnson;P. Rajagopal;P. Rajagopal;E. L. Piner;K. J. Linthicum
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
64.Novel heterostructure of CdS nanoparticle/WO_3 nanowhisker: Synthesis and photocatalytic properties

机译：CdS纳米颗粒/ WO_3纳米晶须的新型异质结构：合成与光催化性能
- 作者：Hyeyoung Kim;Youngjo Tak;Karuppanan Senthil;Jinmyoung Joo;Sangmin Jeon;Kijung Yong
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
65.Evolution of surface morphology of dry-etched ZnO with Cl_2/Ar plasma

机译：Cl_2 / Ar等离子体对干法刻蚀ZnO表面形貌的演变
- 作者：Kuang-Po Hsueh;Ren-Jie Hou;Chun-Ju Tun
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
66.Effect of liquid dispensing on flow field for immersion lithography

机译：液体分配对浸没式光刻术流场的影响
- 作者：Wenyu Chen;Ying Chen;Jun Zou;Xin Fu;Huayong Yang;Xiaodong Ruan;Guofang Gong
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
67.Organopalladium catalyst on S-terminated GaAs(001)-(2×6) surface

机译：S末端GaAs（001）-（2×6）表面的有机钯催化剂
- 作者：Tomoya Konishi;Takashi Toujyou;Takuma Ishikawa;Gavin R. Bell;Shiro Tsukamoto
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
68.Oxygen effects on radiation hardness of ZnO thin films

机译：氧对ZnO薄膜辐射硬度的影响
- 作者：Emre Guer;Hatice Asil;Kuebra Cinar;C. Coskun;S. Tuezemen;Kadem Meral;Y. Onganer;Korkmaz Serifoglu
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
69.Luminescence mechanisms in Si quantum dots-SiN_x nanocomposite structures

机译：Si量子点-SiN_x纳米复合结构的发光机理
- 作者：Bechir Rezgui;Abel Sibai;Tetyana Nychyporuk;Mustapha Lemiti;Georges Bremond
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
70.Structural and luminescent properties of Er-doped ZnO films grown by metalorganic chemical vapor deposition

机译：金属有机化学气相沉积法制备掺Er的ZnO薄膜的结构和发光性质
- 作者：Yoshikazu Terai;Keisuke Yamaoka;Takashi Yamaguchi;Yasufumi Fujiwara
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
71.Etch stop in via-hole etching on aluminum interconnection using inductively coupled C_2F_6 plasma with O_2 additive gas

机译：使用C_2F_6等离子体与O_2添加剂气体的电感耦合在铝互连上的通孔蚀刻中停止蚀刻
- 作者：Shin-ichi Imai;Nobuhiro Jiwari
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
72.Uniformity conditioning of diamond field emitter arrays

机译：金刚石场发射器阵列的均匀性调节
- 作者：J. D. Jarvis;H. L. Andrews;C. A. Brau;B. K. Choi;J. Davidson;W.-P. Kang;Y.-M. Wong
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
73.Time-multiplexed, inductively coupled plasma process with separate SiCl_4 and O_2 steps for etching of GaAs with high selectivity

机译：时分多路，电感耦合等离子体工艺，具有单独的SiCl_4和O_2步骤，用于以高选择性蚀刻GaAs
- 作者：S. Golka;M. Arens;M. Reetz;T. Kwapien;S. Bouchoule;G. Patriarche
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
74.Numerical approach for the theory of harmonic self-heating technique to measure thermophysical properties of suspended thin samples

机译：谐波自热技术理论测量悬浮薄样品热物理性质的数值方法
- 作者：Bo Feng;Zhixin Li;Xing Zhang;G. P. Peterson
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
75.Film-thickness dependence of 10 GHz Nb coplanar-waveguide resonators

机译：10 GHz Nb共面波导谐振器的膜厚依赖性
- 作者：Kunihiro lnomata;Tsuyoshi Yamamoto;Michio Watanabe;Kazuaki Matsuba;Jaw-Shen Tsai
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
76.Effect of etch-clean delay time on post-etch residue removal for front-end-of-line applications

机译：蚀刻清洁延迟时间对前端应用中蚀刻后残留物去除的影响
- 作者：Ingrid Vos;David Hellin;Guy Vereecke;Elizabeth Pavel;Werner Boullart;Johan Vertommen
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
77.Structural and electrical properties of metal contacts on n-type ZnO thin film deposited by vacuum coating technique

机译：真空镀膜沉积n型ZnO薄膜上金属触点的结构和电学性能
- 作者：C. Periasamy;P. Chakrabarti
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
78.Transparent dual-gate InGaZnO thin film transistors: OR gate operation

机译：透明双栅极InGaZnO薄膜晶体管：或门操作
- 作者：Wantae Lim;E. A. Douglas;Jaewon Lee;Junghun Jang;V. Craciun;D. P. Norton;S. J. Pearton;F. Ren;S. Y. Son;J. H. Yuh;H. Shen;W. Chang
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
79.Controlled etching and regrowth of tunnel oxide for antenna-coupled metal-oxide-metal diodes

机译：天线耦合金属-氧化物-金属二极管的隧道氧化物的受控刻蚀和再生长
- 作者：Badri Tiwari;Jeffrey A. Bean;Gergo Szakmany;Gary H. Bernstein;Patrick Fay;Wolfgang Porod
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
80.Effect of sidewall passivation in BCl_3/N_2 inductively coupled plasma etching of two-dimensional GaAs photonic crystals

机译：侧壁钝化在二维GaAs光子晶体BCl_3 / N_2电感耦合等离子体刻蚀中的作用
- 作者：Kirill A. Atlasov;Pascal Gallo;Alok Rudra;Benjamin Dwir;Eli Kapon
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
81.Effects of Ga~+ milling on InGaAsP quantum well laser with mirrors milled by focused ion beam

机译：Ga〜+铣削对聚焦离子束铣削InGaAsP量子阱激光器的影响
- 作者：F. Vallini;D. S. L. Figueira;P. F. Jarschel;L. A. M. Barea;A. A. G. Von Zuben;N. C. Frateschi
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
82.Impact of in situ SiN_x layer grown with metal organic vapor phase epitaxy on the electrical and optical properties of AlN/GaN metal insulator semiconductor field effect transistor structures

机译：金属有机气相外延生长的原位SiN_x层对AlN / GaN金属绝缘体半导体场效应晶体管结构的电学和光学性能的影响
- 作者：E. Cho;S. Seo;C. Jin;D. Pavlidis;G. Fu;J. Tuerck;W. Jaegermann
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
83.Effects of exposure time on defects and demolding force in soft ultraviolet nanoimprint lithography

机译：曝光时间对软紫外纳米压印光刻中缺陷和脱模力的影响
- 作者：Xiangdong Ye;Yucheng Ding;Yugang Duan;Hongzhong Liu;Bingheng Lu
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
84.Growth scaling of metal oxide columnar thin films deposited by glancing angle depositions

机译：通过掠角沉积沉积的金属氧化物柱状薄膜的生长尺度
- 作者：M. T. Taschuk;K. M. Krause;J. J. Steele;M. A. Summers;M. J. Brett
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
85.Effect of Ta buffer layer and thickness on the structural and magnetic properties of Co thin films

机译：Ta缓冲层和厚度对Co薄膜结构和磁性的影响
- 作者：K. Vahaplar;S. Tari;H. Tokuc;S. Okur
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
86.Enhancement of operation temperature of InAs/GaAs quantum-dot infrared photodetectors with hydrogen-plasma treatment

机译：氢等离子体处理提高InAs / GaAs量子点红外光电探测器的工作温度
- 作者：Wei-Hsun Lin;Chi-Che Tseng;Kuang-Ping Chao;Shin-Yen Lin;Meng-Chyi Wu
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
87.Highly sensitive positive-working molecular resist based on new molecule

机译：基于新分子的高灵敏度正性分子抗蚀剂
- 作者：Shigeki Hattori;Arisa Yamada;Satoshi Saito;Koji Asakawa;Takeshi Koshiba;Tetsuro Nakasugi
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
88.Pd/Ru/Au Ohmic contacts to InAISb/lnAs heterostructures for high electron mobility transistors

机译：高电子迁移率晶体管的InAISb / InAs异质结构的Pd / Ru / Au欧姆接触
- 作者：R. Dormaier;Q. Zhang;Y.-C. Chou;M. D. Lange;J. M. Yang;A. Oki;S. E. Mohney
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
89.Fabrication and optical properties of Ti-doped W_(18)O_(49) nanorods using a modified plasma-arc gas-condensation technique

机译：改进的等离子弧气体冷凝技术制备掺钛W_（18）O_（49）纳米棒及其光学性能
- 作者：Cherng-Yuh Su;Hsuan-Ching Lin;Chung-Kwei Lin
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
90.Effects of Si interlayer on resistance switching of Pt/Si/TiO_2/Pt structures

机译：硅中间层对Pt / Si / TiO_2 / Pt结构电阻转换的影响
- 作者：Seunghee Go;Kyunghoon Jeong;Kwanwoo Lee;Ara Kim;Hyun Run;Chang Soo Kim;Jaegab Lee
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
91.The effect of acid on superconformal filling in 100 nm trenches

机译：酸对100 nm沟槽中超共形填充的影响
- 作者：Joshua W. Gallaway;Alan C. West
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
92.Characterization of focused-ion-beam induced defect structures in graphite for the future guided self-assembly of molecules

机译：聚焦离子束诱导的石墨中缺陷结构的表征，用于将来分子的自组装
- 作者：Sarah E. ODonnell;Petra Reinke
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
93.Calculation of electron emission from a gated single nanowire

机译：计算来自门控单纳米线的电子发射
- 作者：Da Lei;Weibiao Wang;Leyong Zeng;Jingqiu Liang
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
94.Electrical characterization of thin InAs films grown on patterned W/GaAs substrates

机译：在图案化的W / GaAs衬底上生长的InAs薄膜的电学特性
- 作者：Gvidas Astromskas;L. Reine Wallenberg;Lars-Erik Wernersson
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
95.Comparison of conjugated polymer deposition techniques by photoluminescence spectroscopy

机译：通过光致发光光谱比较共轭聚合物沉积技术
- 作者：K. R. Lantz;R. Pate;A. D. Stiff-Roberts;A. G. Duffell;E. R. Smith;H. O. Everitt
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
96.Surface plasmon resonance of gold nanoparticles formed by cathodic arc plasma ion implantation into polymer

机译：阴极电弧等离子体离子注入聚合物形成金纳米颗粒的表面等离子体共振
- 作者：F. S. Teixeira;M. C. Salvadori;Mauro Cattani;S. M. Carneiro;I. G. Brown
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
97.Nanoimprint mold fabrication and duplication for embedded servo and discrete track recording media

机译：用于嵌入式伺服和离散磁道记录介质的纳米压印模具制造和复制
- 作者：E. L. Tan;K. O. Aung;R. Sbiaa;S. K. Wong;H. K. Tan;W. C. Poh;S. N. Piramanayagam;C. C. Chum
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
98.Self-assembled monolayers of poly(ethylene glycol) siloxane as a resist for ultrahigh-resolution electron beam lithography on silicon oxide

机译：聚（乙二醇）硅氧烷的自组装单分子层作为抗蚀剂，用于氧化硅上的超高分辨率电子束光刻
- 作者：Bo Gao;Gary H. Bernstein;Marya Lieberman
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
99.Diagnostics and modeling of CH_4-CO_2 plasmas for nanosmooth diamond deposition: Comparison to experimental data

机译：用于纳米光滑金刚石沉积的CH_4-CO_2等离子体的诊断和建模：与实验数据的比较
- 作者：T. Gries;L. Vandenbulcke;S. de Persis;O. Aubry;J. L. Delfau
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期
100.Influence of room temperature control on atomic force microscope imaging

机译：室温控制对原子力显微镜成像的影响
- 作者：Joseph Fu;Chu Wei;Theodore Vorburger
- 期刊名称：《Journal of Vacuum Science & Technology》 | 2009年第5期

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