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静电式MEMS光开关新器件设计开发流程

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本文在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|272-274|共3页
会议地点大连
作者
王凯; 赵新; 何维玮; 卢桂章;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类各种开关;设计;
关键词
静电式光开关; MEMS; 器件设计开发;

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