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微流控器件金属镍模具的电铸制作

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本文提出了一种微流控器件金属镍模具的制作方法.首先应用凸角补偿技术以各向异性湿法腐蚀硅得到呈凹图案的硅基阴模,再在硅基上电铸制作镍阳模.以此阳模为模具经过浇模、键合批量制作PDMS微流控器件.结果表明镍模具的平整度高,其表面算术平均粗糙度为0.725μm.多次复制得到的微流控器件重现性好,一致性高,其沟道的下底宽度、上顶宽度和深度的相对标准偏差(RSD)分别为1.70﹪、2.29﹪和5.31﹪.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|1306-1309|共4页
会议地点大连
作者
张峰; 杨防祖; 郝苇苇; 周勇亮;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制模工艺;模具;
关键词
金属镍模具; 微流控器件; 生物微机电系统; 电铸;

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