首页> 中文会议>中国微米纳米技术第七届学术年会 >化学机械抛光中的纳米级薄膜流动

化学机械抛光中的纳米级薄膜流动

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文在简述化学机械抛光技术的基础上,提出化学机械抛光过程中,受载的粗糙峰和被抛光的晶片表面之间存在一纳米量级的薄流体膜,形成了纳米级薄膜流动系统.指出对纳米级流动规律进行研究将有助于了解化学机械抛光的作用机理,其中,在极薄的膜厚情况下的温度场分析是一项迫切任务.

著录项

来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|1282-1285|共4页
会议地点大连
作者
张朝辉; 雒建斌; 雷红;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类流体动力学;表面处理;
关键词
化学机械抛光; 平面度; 纳米级流动; 温度场; 薄膜流动;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 化学机械抛光中的纳米级薄膜流动 [J] . 张朝辉 ,雒建斌 ,雷红 . 中国机械工程 . 2005,第014期
2. ULSI关键工艺技术——纳米级化学机械抛光 [J] . 张楷亮 ,宋志棠 ,封松林 . 微纳电子技术 . 2005,第7期
3. 兆声辅助化学机械抛光中振动对抛光液流动的影响 [J] . 李亮 ,任奕 ,李小龙 . 科学技术与工程 . 2019,第003期
4. 化学机械抛光中抛光液流动的微极性分析 [J] . 张朝辉 ,雒建斌 . 北京交通大学学报 . 2005,第001期
5. 纳米级孔隙中水分子流动机制的分子动力学模拟研究 [J] . 黄婉莹1 ,陆杭军1 ,许友生2 . 渗流力学进展 . 2015,第002期
6. PECVD法低温形成纳米级薄膜中微观组份对界面电特性影响的分析研究 [C] . 陈蒲生 . '98全国材料表面与界面的科学与工程研讨会 . 1998
7. 化学机械抛光中抛光液流动特性研究 [A] . 花成旭 . 2017

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号