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MEMS微加速度传感器的系统级仿真

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本文概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|293-295|共3页
会议地点大连
作者
刘妤; 重庆工学院; 温志渝; 张流强; 梁玉前;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;TH824.4;
关键词
微加速度传感器; MEMS; CAD; 系统级仿真; 宏模型;

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