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以嚴格耦合波理論模擬散射儀的疊對量測模式

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散射儀(scatterometer)可降低震動的干擾,又具有高測量重複性,在次世代疊對量測技術(overlaymetrology)中,逐漸受到重視.根據疊對圖樣的光柵與光入射平面的夾角,可分爲兩種量測模式,即傳統模式(conventionalmode)與圓錐模式(conicalmode).本文利用嚴格耦合波理論(rigorouscoupledwavetheory)模擬以此兩種模式量測同一個光柵式圖樣,並比較其差異性,結果顯示圓錐模式有較佳的靈敏度.

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来源
《第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会》|2004年|332-336|共5页
会议地点西安
作者
潘鼎翔; 柯俊宏; 盧聖華; 顧逸霞;
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作者单位

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光学计量仪器;吸收与散射;
关键词
散射儀; 耦合波理論; 疊對量測模式; 光柵式圖樣; 圓錐模式;

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以嚴格耦合波理論模擬散射儀的疊對量測模式

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