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提高TEM测量结果的精度

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针对半导体制造中的TEM检测,本文就仪器的操作及仪器放大倍率的标定这两个方面讨论了如何提高TEM测量结果的精度问题.

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来源
《上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会》|2004年|43-46|共4页
会议地点上海
作者
陈一; 朱烨; 王宏培; 胡岗;
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作者单位

中国有色金属学会;

中国金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类测量和检验;
关键词
半导体制造; 透射电镜; 测量精度;

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