首页> 中文会议>第八届敏感元件与传感器学术会议 >多晶硅薄膜热导率测试结构的设计和模拟

多晶硅薄膜热导率测试结构的设计和模拟

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文介绍了一种测量掺杂多晶硅薄膜热导率的简单方法.该测试结构的制造工艺与其它微机械器件和IC的制造工艺完全兼容,是由两个长度不同悬臂组成,这两个悬臂的一端固定,而另一自由端通过一个短臂相连.当施加电流时,由于长短臂上的温度分布存在差异,从而使得整个悬臂产生侧向偏移.当通过光学显微镜观察得到这个偏移量时,便可以根据建立的数学模型得到薄膜的热导率.通过ANSYS分析和模拟,说明了这种测试结构和模型是适用正确的.

著录项

来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|170-175|共6页
会议地点北京
作者
许高斌; 黄庆安;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;TN304.055;
关键词
多晶硅薄膜; 测试结构; 热导率; ANSYS模拟;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 微加工多晶硅薄膜热导率T型测试结构的设计与模拟 [J] . 许高斌 ,黄庆安 ,李伟华 . 仪器仪表学报 . 2005,第9期
2. 在线检测多晶硅薄膜热导率测试结构的设计与模拟 [J] . 许高斌 ,黄庆安 . 半导体学报：英文版 . 2004,第4期
3. 表面加工多晶硅薄膜热导率测试结构 [J] . 许高斌 ,黄庆安 . 微纳电子技术 . 2003,第7期
4. 基于GaAs MMIC技术的残余应力测试结构的模拟与设计 [J] . 蒋明霞 ,杨刚 ,周易 . 传感技术学报 . 2012,第007期
5. 高动态GPS模拟器闭环测试系统结构与软件设计 [J] . 寇艳红 ,常青 ,张其善 . 北京航空航天大学学报 . 2004,第006期
6. 表面加工多晶硅薄膜热导率测试结构 [C] . 许高斌 ,黄庆安 . 中国微米/纳米第六届学术年会 . 2003
7. 多晶硅薄膜热膨胀系数在线测试结构的设计与模拟 [A] . 张宇星 . 2005

多晶硅薄膜热导率测试结构的设计和模拟

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅