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静电驱动光开关结构和位移的在线测量

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本文报道了利用测量显微镜和WYKO搭建的微机械测试台.利用该测试台测得了静电驱动的光开关竖直方向位移.实验表明,利用静电力作为微吸引力,可测得复杂的悬空结构尺寸.测量数据能和扫描电镜测量数据符合.本方法具有测量速度快的特点,适合静电驱动悬空结构的微机械器件在线检测.环境的震动和电极间微细颗粒是影响测量精度的主要因素.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|349-352|共4页
会议地点北京
作者
王浙辉; 王跃林;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类各种开关;
关键词
竖直方向; 位移; 测量; 光开关;

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