光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析

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• 来源
  《光学仪器》 |2003年第3期|17-20|共4页
• 作者

  马海阳; 王艳华; 王明亮; 孙道恒;

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• 作者单位

  厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005;

  厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005;

  厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005;

  厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP211.4;
• 关键词

  悬臂梁; 静电力; 顺序耦合;