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静电作用下多层两端固支梁pull-in电压的解析模型

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受静电力作用的多层两端固支梁MEMS器件具有广泛的应用,其pull-in电压V<,PI>对器件性能通常有重要的影响,本文运用能量法分析了多层两端固支梁在静电作用下的弯曲情况及发生pull-in现象时,梁中央的归一化位移β和对应的pull-in电压V<,PI>,得到了β和V<,IP>的解析表达式.并用Coventor软件中的CoSolveEM模块的模拟结果,对所得表达式进行了验证,结果表明所得表达式具有较高的精度.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|69-76|共8页
会议地点北京
作者
戎华; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
多层两端固支梁; 能量法; pull-in现象;

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