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小型一体化压力变送器研究

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主要论述了压力传感器的工作原理、方案设计、机械结构、研制结果.为减小芯片尺寸,采用了深槽刻蚀技术.由于小型一体化压力变送器体积较小,在电路中采用了贴片式XTR105芯片进行信号处理,达到输出信号为4mA~20mA和1V~5V,测量精度为0.5﹪FS的要求.经测试检验表明设计合理、各项指标达到设计要求.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|463-467|共5页
会议地点北京
作者
田雷; 苗欣; 王江;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
小型一体化压力变送器; 双信号输出; 压力传感器;

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