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悬浮结构电感的模拟与制作

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本文分析了衬底对射频无源器件性能的影响,提出30μm空气隔离层的悬浮结构可以大大降低衬底损耗.通过模拟空气层隔离后的衬底损耗,简化了悬浮电感的电学模型,计算得到高Q值电感的优化尺寸结构.通过阳极氧化形成多孔硅牺牲层可以实现这种悬浮结构电感,利用SiO<,2>作支撑膜,Al金属作线圈的结构材料,最后使用改进的TMAH溶液释放牺牲层.该制作工艺与CMOS工艺兼容.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|353-356|共4页
会议地点北京
作者
刘泽文; 陈忠民; 丁勇; 刘理天; 李志坚;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电感器、线圈、扼流圈;微电子学、集成电路（IC）;
关键词
射频; 电感; 损耗; 多孔硅; 牺牲层;

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