硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究

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• 来源
  《电子学报》 |2002年第11期|1597-1600|共4页
• 作者

  丁勇; 刘泽文; 刘理天; 李志坚;

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• 作者单位

  清华大学微电子学研究所,北京,100084;

  清华大学微电子学研究所,北京,100084;

  清华大学微电子学研究所,北京,100084;

  清华大学微电子学研究所,北京,100084;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 电感器、线圈、扼流圈;半导体器件制造工艺及设备;
• 关键词

  微机械; 电感; Q值; 多孔硅; 牺牲层;