微机械

摘要： 石英音叉陀螺是振动型角速率传感器,广泛应用于精确制导、飞行器和稳定系统等军用领域,对其接口电路的现有的研究大部分还处于分立元器件PCB集成阶段,难以满足小尺寸、低功耗的现实应用需求。为此,设计一款基于ASIC专用芯片的陀螺接口电路,采用石英材料的音叉型敏感器件,实现高精度角速度测量。测试结果表明该电路在全温区具有较好的零偏稳定性,标度因数、非线性度、不对称度等重要参数均满足设计指标,达到预期效果。

摘要： 管道中心线测绘坐标是管道完整性管理的重要基础数据.针对小口径油气输送管道中心线测绘对小尺寸惯性导航系统的需求及现有管道内检测技术存在不足的问题,提出了一种基于微机械惯导的管道中心线测绘与基于永磁扰动检测的管道内检测技术,研发了小口径管道多功能内检测系统.该系统体积小、结构简单、能耗低、操作方便.现场工程应用中,测绘结果和实际验证结果表明,多功能内检测系统能够准确测绘管道中心线轨迹坐标,系统永磁检测探头可以有效检测管道特征及内壁缺陷,利用时间参数可实现管道任一特征点的具体坐标匹配,有效获取管道特征的地理坐标信息.该检测系统的研发成功提高了管道内检测定位的精度,对保证小口径管道的安全运行具有重要作用.

摘要： 通常情况下,医疗超声成像系统又大又笨重,必须用推车推着走。然而,这款Vave探头可以放在口袋里,并与智能手机配对使用。该设备由总部位于加州的公司Vave Health创建,是首席执行官Amin Nikoozadeh的心血结晶D这款340克的设备采用了压电微机械超声换能器、有助于散热的铸镁机身和硅胶手握套。

摘要： 为解决传统SiO2蚀刻工艺中存在的粘连塌陷和蚀刻速率无法精确控制等问题,研究了一种以低压下的气态氟化氢作为腐蚀介质的蚀刻方法,进而介绍了采用这一方法工作的氟化氢释放系统,主要用于在MEMS工艺中对SiO2牺牲层进行腐蚀,从而释放MEMS微结构.该系统的基本工作机理是HF与SiO2反应生成SiF4,同时让乙醇参与反应,从而实现了对SiO2蚀刻工艺的优化.实践表明,该系统能有效去除水分,防止粘连和塌陷,更好地控制蚀刻速率,具有广阔的应用前景.

摘要： 纳米动力学:主要是微机械和微电机,或总称为微型电动机械系统(MEMS),用于有传动机械的微型传感器和执行器、光纤通讯系统,特种电子设备、医疗和诊断仪器等,用的是一种类似于集成电器设计和制造的新工艺。

摘要： 2019年5月7日,由西北工业大学主办的第25届世界微机械会议(World Micromachine Summit 2019,MMS2019)在西安举行。美国工程院院士、世界电子电器工程师协会终身会士Kurt Petersen,德国国家研究中心弗朗霍夫研究院纳米电子系统中心主任Thomas Otto,日本东京大学微纳研究中心主任Toshihiro Itoh,韩国微纳学会主席、韩国科学院微纳研究中心首席科学家Tae Song Kim,以及中国工程院院士。

摘要： 微机械是传统的宏观机械动力学与纳米技术的结合,具有节能、环保、能耗小等特点.微机械由于尺寸小,其动力学行为是宏观机械动力学基于纳米技术的应用,是微机械的理论基础,因此有必要讨论其微机械状态下的动力学行为与研究.介绍了微机械动力学的研究现状,研究内容以及尚存在的问题,提出了未来的发展趋势.

摘要： 随着全球工业化进程的推进,环境空气污染加剧,人类对健康生活环境的追求越发强烈……而人类嗅觉的延伸——机器嗅觉,在此背景下,迎来爆发式发展机遇。机器嗅觉起源:气体传感器诞生机器嗅觉是一种模拟生物嗅觉工作原理的新颖仿生检测技术,机器嗅觉系统通常由交叉敏感的化学传感器阵列和适当的计算机模式识别算法组成,可用于检测、分析和鉴别各种气味。

摘要： 乔恩·巴克伦德在思考显微机械加工时,脸上露出了一种近乎敬畏的神情:“就好像普通物理学走出了牢笼,感觉自己是在“预量子”领域做事。

摘要： 本文在简要介绍微机械振动陀螺仪工作原理的基础上,分析影响陀螺仪性能的正交误差所产生的原因,推导其内在的数学机理,并探讨抑制或消除正交误差影响的方法和措施.

摘要： 可变光衰减器是一种关键的光纤通信无源器件，本文介绍了一种新型的采用二次扩散/刻蚀正面体硅工艺制作的光通信用挡板式微机械可变光衰减器，测试表明，该器件具有插入损耗低、动态衰减范围大、偏振相关损耗低、波长相关损耗低、响应时间快、驱动电压小、功耗低等特性，能够满足光通信系统，特别是WDM光传输系统对于可变光变减器的技术指标要求。

摘要： MEMS电磁继电器是继电器微型化主流方案、代表了未来继电器高端产品的发展趋势.但触头弹跳已成为限制其寿命、制约实用化的瓶颈问题之一,需要针对器件微型化后的结构、尺寸特点,研究有别于传统宏观器件的弹跳抑制方法.在前期研究的基础上,本项目提出综合运用改变器件动力学传递函数和调整外加激励的方法优化器件的动态响应,探寻从根本上抑制触头弹跳的有效途径.在此基础上,提出可以在集成制造的批量化器件中实现的弹跳抑制方法,据此设计、制造器件、测试其性能,验证该方法的有效性与可行性.本项目是微米尺度上抑制结构冲击与振动的有益尝试.

摘要： 油气井下作业技术中的杆管柱在充满流体的狭长井筒内工作，在各种力的作用下，处于十分复杂的变形和运动状态；油气井杆管柱力学已经初步形成系统，并在石油工程上得到了越来越广泛的应用。随着碳纳米管材料和微机械在现代应用科学领域的异军突起，在该领域中也遇到了类似的杆管柱强度和作业问题。本文基于对油气井杆管柱力学的认识和理解，从跨学科应用的角度出发，探索油气井杆管柱力学在微机械和碳纳米管领域的应用前景。

摘要： 本文介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的动态衰减范围≥50dB,插入损耗≤0.8dB,回波损耗≤-45dB,波长相关损耗≤0.2dB,偏振相关损耗≤0.25dB,响应时间＜1 ms.

摘要： 本文提出了一种适应国内加工条件的三轴微陀螺仪,依据三轴陀螺的结构和工作原理,利用ANSYS有限元仿真软件对三轴陀螺的设计进行了计算和仿真.在此基础上,通过调节结构参数实现各轴驱动模态与敏感模态固有频率的匹配以提高各轴的灵敏度.最后介绍了加工所采用的工艺.

摘要： 一种微机电调制装置，包括多个于此定义的可移动部分，以及多个于此定义的驱动部分，其中设置于此定义的动态拉入电压小于于此定义的保持电压，并且驱动部分通过驱动电压来驱动可移动部分，所述驱动电压大于或等于保持电压，其值小于或等于10V。

摘要： 本发明涉及一种微机械反射镜装置、一种反射镜系统以及一种用于制造微机械反射镜装置的方法。该反射镜装置构造有：平面地构造的第一反射镜元件（10）；平面地构造的第二反射镜元件（20）；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）基本上平面平行地布置；其中，在所述第一和第二反射镜元件（10、20）之间的中间空间（40）具有比所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）更小的折射率；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）局部地通过至少一个支撑结构（130）彼此间隔开地布置；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）在垂直于所述第一和第二反射镜元件（10、20）布置的轴向方向（A）上与所述第一和第二反射镜元件（10、20）重叠；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）具有如下一种材料或者由如下材料构成，所述材料与构成所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）的材料不同。

摘要： 本发明提供微机械构件（2）的执行装置（1），包括：悬挂架（3）；具有弹簧材料（FM）的多个弯曲梁（4），其中弯曲梁（4）分别与悬挂架（3）机械连接并且横向地从该悬挂架延伸出去；多个致动装置（4a），其中致动装置（4a）与弯曲梁（4）机械连接；环形元件（5）或者框架元件，环形元件或者框架元件与弯曲梁（4）机械连接，并且与悬挂架（3）横向地间隔开，并且具有比所述弯曲梁（4）小的可弯曲性；多个弹簧元件（6），所述弹簧元件与所述环形元件（5）机械连接并且从在背离所述悬挂架（3）的侧上从所述环形元件（5）横向地延伸出去；以及待移动的中央段（7），其中弹簧元件（6）使中央段（7）与环形元件（5）机械连接。

摘要： 本发明实现一种用于制造集成的微机械的流体传感器构件的方法、一种集成的微机械的流体传感器构件和一种用于借助于集成的微机械的流体传感器构件来检测流体的方法。方法包括下述步骤：构造（S01）第一晶片（W1），所述第一晶片在第一衬底（110）上具有第一布拉格镜（DBR1）并且具有光发射装置（112）；其中光发射装置（112）被构造用于从光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的表面（112‑f）沿发射方向（R）发射光线（L）；构造（S02）第二晶片，所述第二晶片在第二衬底（120）上具有第二布拉格镜（DBR2）并且具有光电二极管（116），其中光电二极管（116）布置在第二布拉格镜（DBR2）的朝向第二衬底（120）的表面（DBR2‑b）上；将第一晶片（W1）接合（S3）或者粘接到第二晶片（W2）上，使得在光发射装置（112）的背离第一布拉格镜（DBR1）的侧（112‑f）上，以及在第二布拉格镜（DBR2）的背离光电二极管（116）的表面（DBR2‑f）上构造空腔（114），能够将流体（F）导入到所述空腔中，并且所述空腔能够由光线（L）穿越；并且从第一和第二晶片（W1，W2）分离（S04）流体传感器构件。

摘要： 本发明提出用于加盖的微机械构件的制造方法，相应的微机械构件和用于微机械构件的盖板。所述方法具有如下步骤：形成具有多个穿孔(K；K’)的中间衬底(1，1’，1”；2，2’)；将盖衬底(KD；KD’)层压到所述中间衬底(1，1’，1”；2，2’)的前侧(VS；VS’)上，所述盖衬底在所述前侧(VS；VS’)上封闭所述穿孔(K；K’)；将MEMS功能晶片(3；3’)层压到所述中间衬底(1，1’，1”；2，2’)的背侧(RS，RS’)上；其中，使所述MEMS功能晶片(3；3’)相对于所述中间衬底(1，1’，1”；2，2’)如此定向，使得所述穿孔(K；K’)形成所述MEMS功能晶片(3；3’)的相应功能区域(FB，FB’)上方的相应空腔。

摘要： 本发明涉及微机械结构，具有衬底和相对于衬底可动的振动质量及第一和第二探测机构。第一方向和基本垂直于它的第二方向限定衬底的主延伸平面。第一探测机构用于探测振动质量的平移偏转。第二探测机构用于探测振动质量的旋转偏转。振动质量通过锚固件和四个扭转弹簧部段与衬底连接。第一探测机构具有电极结构，其包括固定于振动质量的第一电极和固定于衬底的第二电极。第一电极和第二电极具有沿第二方向和第三方向基本二维的延展，该第三方向垂直于主延伸平面。锚固件具有第一部段和第二部段，在它们之间设置间隙。连接件连接两个第一电极，该连接件引导通过该间隙。本发明还涉及包括这种微机械结构和用于读取探测机构的电气电路的微机械传感器。

摘要： 本发明涉及微机械结构及微机械传感器，该微机械结构具有衬底和可相对于衬底运动的震动质量及探测装置和主弹簧。震动质量借助主弹簧与衬底连接。第一方向和垂直于此的第二方向定义衬底主延伸平面。探测装置设置为探测震动质量偏移并具有固定在震动质量上的第一电极和固定在衬底上的第二电极。第一和第二电极在第一和第二方向上具有二维延伸。微机械结构还具有交错的止挡结构，其具有第一、第二弹簧止挡和固定止挡。止挡结构如此构型，使得在震动质量的至少一部分在垂直于第一和第二方向的第三方向上运动超出运行范围时第一弹簧止挡首先机械接触，在进一步运动时第二弹簧止挡随后机械接触，在进一步运动时固定止挡随后机械接触。

摘要： 本发明涉及一种用于传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有第一震动质量(30a)，其中，从其第一静止位置在第一方向(44)上沿第一轴线移位第一极限路程的第一震动质量机械地接触第一停止结构，并且所述微机械构件具有第二震动质量(30b)，第二震动质量能够从其第二静止位置至少沿第二轴线移位，其中，所述第二轴线平行于所述第一轴线或位于所述第一轴线上，其中，从其第二静止位置在与所述第一方向相反定向的第二方向(46)沿所述第二轴线移位的第二震动质量的第二止挡面(50b)机械地接触附着在所述第一停止结构上的第一震动质量的第一止挡面(50a)。本发明还涉及一种用于传感器设备的微机械构件的制造方法。

摘要： 本发明涉及一种用于运行微机械惯性传感器的方法以及一种微机械惯性传感器，该微机械惯性传感器尤其构造为加速度传感器。微机械加速度传感器能够具有弹动地受支承的质量体以及柔性的止挡结构和固定结构。固定结构包括固定的电极，并且止挡结构紧固在固定结构上。止挡结构包括作用元件和电极。在质量体从初始位置偏移出时，质量体贴靠到作用元件上。通过将电压施加到固定的电极上，静电力在固定的电极与止挡结构的电极之间起作用，以便使具有作用元件的止挡结构向固定的电极的方向且远离质量体地运动。

摘要： 本发明涉及一种微机械结构，其具有衬底和相对于衬底可运动的震动质量，其中，扭转弹簧将震动质量与衬底连接。微机械结构还具有探测机构，其中，第一方向和基本上垂直于所述第一方向的第二方向定义衬底的主延伸平面，其中，探测机构设置用于探测震动质量围绕旋转轴线的旋转偏移，其中，旋转轴线布置在第二方向上。微机械结构还具有止挡结构，其中，止挡结构如此布置，使得震动质量的运动由止挡结构限制，其中，止挡结构设置用于，在部分弹性、部分非弹性的碰撞中吸收所述震动质量的动能。