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一种新型光通信用微机械可变光衰减器

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可变光衰减器是一种关键的光纤通信无源器件，本文介绍了一种新型的采用二次扩散/刻蚀正面体硅工艺制作的光通信用挡板式微机械可变光衰减器，测试表明，该器件具有插入损耗低、动态衰减范围大、偏振相关损耗低、波长相关损耗低、响应时间快、驱动电压小、功耗低等特性，能够满足光通信系统，特别是WDM光传输系统对于可变光变减器的技术指标要求。

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来源
《2006中国科协年会》|2006年|306-310|共5页
会议地点北京
作者
李海军; 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区; 杨拥军; 徐永青; 郑七龙;
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作者单位

中国科学技术协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光纤元件;光纤通信;
关键词
微机械; 可变光衰减器; 波分复用; 光通信;

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