一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器

著录项

• 来源
  《传感技术学报》 |2006年第5期|1731-1734|共4页
• 作者

  李海军; 杨拥军; 王建军; 徐永青; 郑七龙; 陈维友;

  展开▼
• 作者单位

  中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;

  吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130023;

  中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;

  中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;

  中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;

  中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051;

  吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春,130023;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 基本电子电路;
• 关键词

  微机械; 光学微机电系统; 可变光衰减器; 波分复用;