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MEMS技术在集成压力传感器中的应用

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介绍了MEMS国内外发展概况,及MEMS技术在集成压力传感器研制中的应用情况.结合作者在佐治亚理工学院微电子研究中心的工作,简述了在集成压力传感器研制中的MEMS CAD应用,即ANSYS仿真分析;并给出了与集成电路想兼容的敏感材料多晶硅工艺参数的正交实验优化结果.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|157-160|共4页
会议地点北京
作者
金建东; 周治平;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
MEMS; 集成压力传感器; 多晶硅; ANSYS;

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