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PZT压电悬臂梁结构与性能的关系研究

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本文借助有限元分析软件ANSYS研究了双层压电悬臂梁结构发生弯曲振动时,振幅和基频与悬臂梁的几何尺寸以及电压的关系.分类分析了PZT悬臂梁弯曲振动的各种模式,结果表明:在相同几何尺寸,相同电压的情况下,"异P同E"的振幅是"异E同P"振幅的一半;两者的振幅与电势差△V成正比,与长厚比1/d成平方正比关系,与宽度h无关.对于"同P同E"得出:上下两层PZT的电场差异越大,振幅越大.以上分析方法和结论可应用于PZT悬臂梁结构的优化设计.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|89-93|共5页
会议地点北京
作者
黄聪; 林殷茵; 汤庭鳌;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类程序包（应用软件）;
关键词
悬臂梁; 压电; PZT; MEMS; ANSYS;

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