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CMOS集成湿度传感器模拟与设计

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本文介绍了一种与CMOS工艺兼容的集成湿度传感器,它将传感器和处理电路集成在一块片子上,与传统的湿度计相比,具有体积小、成本低、可靠性高等优点.湿度传感器结构为空腔型结构,中间为电介质,电极材料为多晶硅,上下极板均为平板状.该设计采用空气作为感湿介质.利用Coventor模拟得到全量程总的敏感电容变化值为0.00232PF.信号处理电路为多谐振荡电路,将敏感电容的变化转变为电路输出频率的变化,建立起相对湿度(RH)与频率(f)之间的函数关系,利用智能控制.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|377-380|共4页
会议地点北京
作者
顾磊; 秦明; 黄庆安;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
CMOS集成; 湿度传感器; 微电子机械系统;

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