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CMOS集成电容绝对压力传感微系统的模拟与设计

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微电子机械系统(MEMS)或微系统(MICROSYSTEM)成为继集成电路设计之后微电子领域新的发展方向.传感器作为外界与内部处理电路的接口,已经成为微系统的重要组成部分.将传感器部分和集成电路(IC)集成于同一芯片之中,实现同一工艺条件下的设计与工艺兼容,已经成为能否真正实现微系统的关键问题之一.本文以压力测量系统为例,论述CMOS工艺条件下的电容式绝对压力传感器和IC处理电路的兼容设计的可行性,给出了相应工艺条件下微系统的具体设计过程,设计参数经过高用工具软件的模拟论证,设计和模拟结果说明了系统实现的可行性.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|145-150|共6页
会议地点北京
作者
周闵新; 黄庆安; 秦明;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
集成绝对压力电容式传感器; MEMS; CMOS工艺;

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