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电磁驱动电容检测硅微机械陀螺设计

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介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,减小了驱动和检测间的耦合,有利于获得较大的工作带宽.本文从理论上分析了折叠梁结构参数对力学性能的影响,用ANSYS进行了验证.并在SOI基片制作了陀螺的微机械结构.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|166-169|共4页
会议地点北京
作者
宋朝辉; 贾孟军; 李昕欣; 陈志龙;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
微陀螺; 折叠梁; 有限元分析;

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