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梳状谐振器HDL宏模型

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随着MEMS集成度的提高,迫切需要有相应的设计方法进行系统级的设计与模拟,由于MEMS器件的工作原理包含了多种能量的耦合,宏模型的建立成了系统级设计的"瓶颈".模拟硬件描述语言(如VHDL-AMS、MAST等)提供了一种有效的方法,即建立起一组表示MEMS器件动态特性的微分代数方程组(DAEs),然后对其描述,可形成相应的库单元,以便利用现有的系统级仿真软件进行模拟、优化.梳状谐振器是一种典型的MEMS器件,本文选择其作为对象,介绍了用硬件描述语言建立宏模型的方法和过程.建立的模型可以进行静态工作点、时域和频域分析.这种方法同样适用于其它的MEMS器件.

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来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|119-124|共6页
会议地点北京
作者
孙振新; 黄庆安; 李伟华;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP271.2;TP212;
关键词
MEMS器件; 宏模型; HDL; 梳状谐振器;

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