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沈雪瑾;
上海大学机电工程与自动化学院;
微型机电系统; 静电硅微谐振器; 单侧支撑; 性能分析;
机译:低损耗硅微环谐振器作为梳状滤波器
机译:使用多晶硅梳状微谐振器的遗传算法调谐微机电滤波器
机译:用于准静态微扫描仪的硅氧烷油阻尼,静电交错垂直梳状型
机译:使用线性变化长度的静电梳状阵列对侧向驱动微谐振器进行频率调谐
机译:氮化铝微环谐振器中的光学频率梳状
机译:基于静电梳状驱动和压阻感测侧向谐振器的谐振压力传感器
机译:具有带有亚微孔梳状静电致动器的硅微管谐振器的波长选择性插入开关
机译:含有NLO活性侧基的梳状聚合物
机译:具有大定位距离的微定位系统,具有两个粘贴电极,弹簧单元和形成定位单元的静电执行器,其中执行器具有带梳状结构的电极,这些梳状结构相互交叉
机译:静电梳状致动器,使用静电梳状致动器的可变形镜,使用可变形镜的自适应光学系统以及使用自适应光学系统的扫描激光检眼镜
机译:静电梳状执行器,使用静电梳状执行器的可变形镜,使用可变形镜的自适应光学系统以及使用自适应光学系统扫描激光眼科手术
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