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论文说明：主要符号表
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第一章绪论
1.1微型机电系统的研发概况
1.1.1微型机电系统的溯源
1.1.2微型机电系统的应用领域与发展前景
1.2微致动器的国内外研究现状
1.2.1微致动器的分类与特点分析
1.2.2静电梳状硅微谐振器的研究进展
1.2.3电热硅微致动器的研究进展
1.3论文的主要研究内容及意义
第二章硅微致动器的设计与制作
2.1三层多晶硅的表面硅微加工工艺
2.2谐振式直线马达与相关微致动器设计
2.3电热式微直线马达设计
2.4 Ⅴ型梁电热杠杆式体硅纳米致动器设计
2.5本章小结
第三章单侧直脚谐振器的力学性能分析
3.1单侧直脚谐振器的结构与工作机理
3.2单侧直脚谐振器的简化力学分析模型
3.2.1静力学分析
3.2.2力学性能分析
3.3单侧直脚谐振器的性能分析
3.3.1结构参数对弹性系数kx的影响
3.3.2结构参数对谐振频率f的影响
3.3.3结构参数对横向最大位移xmax的影响
3.4单、双侧支撑的静电梳状谐振器性能比较
3.5本章小结
第四章复合Ⅴ型梁热致动器的静态特性分析
4.1复合Ⅴ型梁热致动器的静力学模型
4.1.1前端Ⅴ型梁热致动器的变形与支反力计算
4.1.2侧面Ⅴ型梁热致动器的变形与支反力计算
4.1.3复合Ⅴ型梁热致动器的变形与支反力迭代计算方法
4.2复合Ⅴ型梁热致动器的静态特性研究
4.3 Ⅱ型梁热致动器的静态特性研究
4.4 Ⅴ型梁和Ⅱ型梁热致动器的性能比较
4.5本章小结
第五章硅微致动器性能试验研究
5.1硅微致动器性能试验测试系统
5.2硅微致动器微小位移测量方法
5.2.1集成读数标尺法
5.2.2 CCD图象对比法
5.3单侧直脚谐振器的性能试验研究
5.3.1测试原理
5.3.2幅频特性试验
5.3.3振幅——电压特性试验
5.3.4单侧直脚谐振器谐振频率计算公式验证
5.4电热硅微致动器的性能试验研究
5.4.1复合Ⅴ型梁热致动器的性能试验研究
5.4.2 Ⅱ型梁热致动器的性能试验研究
5.5本章小结
第六章应用硅微致动器的MEMS执行器开发
6.1静电谐振式微直线马达
6.2电热式微直线马达
6.3体硅Ⅴ型梁电热杠杆式纳米致动器
6.4对试验中发现的问题之思考
6.5本章小结
第七章结论与展望
7.1研究工作总结
7.2未来研究工作展望
参考文献
作者在攻读博士学位期间公开发表的学术论文(附“检索报告”)
作者在攻读博士学位期间完成的科研项目情况
致谢
