首页> 中文会议>第八届敏感元件与传感器学术会议 >吸收层厚度对电阻型室温红外传感器性能的影响

吸收层厚度对电阻型室温红外传感器性能的影响

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文利用硅基微机械加工技术制作了具有微桥结构的电阻式室温红外传感器,采用光学导纳矩阵法分析了FECVD-SiO<,2>/PolySi热氧SiO<,2>多层膜系的光学特性,指出器件的红外吸收率随PECVD-SiO<,2>红外吸收层厚度的增大呈起伏振荡并逐渐收敛的趋势,提出了一种提取红外吸收率的简单方法,并用实验阐述了PECVD-SiO<,2>红外吸收层厚度对于器件性能的影响.

著录项

来源
《第八届敏感元件与传感器学术会议》|2003年|483-485|共3页
会议地点北京
作者
董良; 岳瑞峰; 刘理天;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
室温红外传感器; 红外吸收率;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 电极结构对高分子电阻型湿度传感器性能的影响 [J] . 刘若望 . 材料科学与工程学报 . 2011,第003期
2. 沟道层厚度对室温制备的In2O3薄膜晶体管器件性能的影响 [J] . 焦洋 ,张新安 ,翟俊霞 . 发光学报 . 2013,第003期
3. 子层厚度对Ni-Fe/Cu/Co/Cu多层纳米线阵列磁性和巨磁电阻性能的影响（英文） [J] . 王宏智 ,黄波 ,邓华权 . 中国化学工程学报：英文版 . 2015,第7期
4. 镀层厚度对镀金镍片微电阻点焊接头性能的影响 [J] . 刘克文 ,仵艳影 ,徐春容 . 现代焊接 . 2014,第006期
5. Ni_(81)Fe_(19)层厚度对自旋阀巨磁电阻性能的影响 [J] . 曲炳郡 ,任天令 ,刘华瑞 . 仪器仪表学报 . 2003,第z2期
6. 沟道层厚度对室温下制备In2O3薄膜晶体管器件性能的影响 [C] . Yang Jiao ,焦洋 ,Xinan Zhang . 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议 . 2012
7. 60Co-γ射线对室温固化耐温型低红外发射率涂层性能的影响 [A] . 马志远 . 2016

吸收层厚度对电阻型室温红外传感器性能的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅