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MOCVD法生长ZnO/GaN/Al<,2>O<,3>多层结构

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本文采用我们自行设计组装具有自主知识产权的等离子体辅助MOCVD系统,以DEZn和O<,2>为生长源,在外延的GaN/Al<,2>O<,3>薄膜上生长出高质量的ZnO薄膜.

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来源
《中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议》|2003年|82-83|共2页
会议地点牡丹江
作者
杨洪军; 赵佰军; 杜国同; 杨小天; 张源涛; 候小珂; 马艳; 刘博阳; 方秀军; 李万成; 刘大力;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21;TN304.055;
关键词
ZnO薄膜; MOCVD; 多层结构; X光衍射; 光致发光谱;

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