首页> 中文会议>第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会 >可变矩形束电子曝光机电子束形态的精确修正

可变矩形束电子曝光机电子束形态的精确修正

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文重点介绍利用可变矩形束电子束曝光机精确制版中间掩模板或在硅片上直写图形时,如何通过校准子程序对电子束的形态及位置进行调整,使制版的精度要求得到保证.经过调整,使电子束扫描场的拼接精度和旋转精度获得明显提高,同时还可以对成型光阑的状况进行检测,并对成型光阑的旋转角度进行修正.

著录项

来源
《第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会》|2003年|115-117|共3页
会议地点北京
作者
张建宏; 陆晶; 陈宝钦; 刘明; 牛洁斌;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
可变矩形束; 电子束曝光机; 中间掩模版;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. DJ—2型可变矩形电子束曝光机电子光学设计 [J] . 康念坎 . 电子科学学刊 . 1992,第002期
2. 可变矩形电子束曝光机数据格式转换软件的移植 [J] . 耿兆强 ,杨中山 . 微细加工技术 . 1999,第003期
3. DJ-2可变矩形电子束曝光机 [J] . 吴明均 . 电子显微学报 . 1992,第002期
4. 可变矩形电子束曝光机真空系统的完善 [J] . 左云芝 ,彭永生 . 电工电能新技术 . 1991,第004期
5. DJ—2可变矩形电子束曝光机的研制 [J] . 顾文琪 ,王理明 . LSI制造与测试 . 1989,第004期
6. 可变矩形电子束曝光机光阑形态的调整 [C] . 张建宏 ,梁俊厚 ,陈宝钦 . 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 . 1999
7. 可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的实用化研制 [A] . 陈建辉 . 2002

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号