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Finder-1000 X射线能谱仪在半导体陶瓷电容器制程中的应用

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X射线能谱仪分析是目前使用最广泛的表面及亚表面微区化学成分的分析方法,本文研究使用该方法对表面层型半导体瓷片表面疵病,污染黑斑进行分析.

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来源
《第二届全国扫描电子显微学会议》|2003年|528-529|共2页
会议地点珠海
作者
李静; 王振平;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类能谱仪;
关键词
半导体陶瓷电容器; X射线能谱仪; 表面疵病分析;

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