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关于单晶硅各向异性腐蚀机理的讨论

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在单晶硅太阳电池的制备工艺中,经常利用碱溶液对各个晶面腐蚀速率不同,在硅片表面形成类"金字塔"状绒面,降低反射率.本文研究了(氢氧化钠+乙醇)混合体系对(100)晶向的单晶硅片的各向异性腐蚀过程,描述了随着氢氧化钠的含量、乙醇的含量和反应时间的变化,金字塔绒面微观形貌和硅片表面反射率的变化情况,从金字塔的成核、生长过程的角度,分析了各工艺参数影响绒面质量的机理,总结出了适宜大规模生产的工艺参数.

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来源
《2003年中国太阳能学会学术年会》|2003年|34-38|共5页
会议地点上海
作者
许彦旗; 汪义川; 季静佳; 施正荣;
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作者单位

中国太阳能学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能电池;
关键词
单晶硅; 各向异性; 太阳电池; 腐蚀机理;

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