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脉冲激光溅射及富—锆PZT薄膜的性能研究

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采用脉冲激光溅射方法将PZT、YBCO沉积在LaAlO<,3> (LAO)基底上,所选择的烧结靶材是Pb(Zr<,0.94>Ti<,0.06>)O<,3>+2％Bi<,2>O<,3>.沉积YBCO和PZT薄膜的基底温度分别为710℃和570℃.整体结构PZT/YBCO/LAO在600℃的基底温度下退火15min.本文通过X射线衍射分析观察了薄膜的结晶状态,利用P-V曲线估计PZT薄膜的电学性质,并测量出薄膜的介电常数与频率(ε-f)以及介电损耗与频率(tanδ-f)的关系曲线.

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来源
《第七届"测量与控制在资源节约、环境保护中的应用"学术会议》|2003年|173-174|共2页
会议地点沈阳
作者
彭润玲;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
脉冲激光溅射; X射线衍射; 铁电薄膜;

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